În calitate de producător profesionist, am dori să vă oferim componente semiconductoare. Semicorex este partenerul dumneavoastră pentru îmbunătățirea procesării semiconductoarelor. Acoperirile noastre cu carbură de siliciu sunt dense, rezistente la temperaturi ridicate și chimice, care sunt adesea folosite în întregul ciclu de fabricație a semiconductoarelor, inclusiv în procesarea plăcilor și a plăcilor de semiconductori și fabricarea semiconductoarelor.
Componentele acoperite cu SiC de înaltă puritate sunt cruciale pentru procesele din semiconductor. Oferta noastră variază de la consumabile de grafit pentru zonele fierbinți de creștere a cristalului (încălzitoare, creuzete susceptoare, izolație), până la componente de grafit de înaltă precizie pentru echipamentele de procesare a plachetelor, cum ar fi susceptori de grafit acoperiți cu carbură de siliciu pentru Epitaxy sau MOCVD.
Avantaje pentru procesele semiconductoare
Fazele de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxia sau MOCVD, sau procesarea de manipulare a plachetelor, cum ar fi gravarea sau implantul ionic, trebuie să suporte temperaturi ridicate și curățări chimice dure. Semicorex furnizează o construcție cu grafit acoperit cu carbură de siliciu (SiC) de înaltă puritate, care oferă rezistență superioară la căldură și rezistență chimică durabilă, chiar și uniformitate termică pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epidermic.
Capacele camerei →
Capacele camerelor utilizate în procesarea creșterii cristalelor și a manipulării napolitanelor trebuie să reziste la temperaturi ridicate și curățări chimice dure.
Efector final →
Efectorul final este mâna robotului care mută plăcile semiconductoare între pozițiile din echipamentele de procesare a plăcilor și suporturi.
Inele de admisie →
Inelul de admisie a gazului acoperit cu SiC de către echipamentul MOCVD Creșterea compusului are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o stabilitate mare în mediu extrem.
Inel de focalizare →
Semicorex furnizează inelul de focalizare acoperit cu carbură de siliciu este cu adevărat stabil pentru curățarea RTA, RTP sau cu substanțe chimice dure.
Mandrină pentru napolitană →
Mandrinele de vacuum ultraplate din ceramică Semicorex sunt acoperite cu SiC de înaltă puritate în procesul de manipulare a plachetelor.
Filamentul de încălzire Semicorex SiC este un încălzitor de grafit acoperit cu carbură de siliciu proiectat pentru încălzirea plachetelor în producția avansată de semiconductori. Alegerea Semicorex înseamnă selectarea unui partener de încredere care oferă materiale de înaltă puritate, personalizare precisă și performanță de lungă durată pentru cele mai solicitante procese termice.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăMandrinele din carbură de siliciu Semicorex sunt special concepute pentru echipamente de fotolitografie și au multiple avantaje, cum ar fi precizie ridicată, greutate ultra-ușoară, rigiditate ridicată, coeficient scăzut de dilatare termică și rezistență excelentă la uzură.
Citeşte mai multTrimite o anchetăTuburile pentru cuptor Semicorex SiC sunt tuburi de carbură de siliciu de înaltă puritate, fabricate prin tehnologie avansată de imprimare 3D, concepute pentru procese fotovoltaice la temperatură înaltă. Semicorex oferă soluții de ultimă oră SiC cu rezistență, stabilitate și fiabilitate superioare în care industria solară din întreaga lume are încredere.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăPaletele Semicorex SiC sunt brațe cantilever din carbură de siliciu de înaltă puritate, concepute pentru transportul plachetelor în cuptoare de oxidare și difuzie la temperatură înaltă peste 1000℃. Alegerea Semicorex înseamnă asigurarea unei calități excepționale a materialelor, a ingineriei de precizie și a fiabilității pe termen lung în care au încredere producătorii de semiconductori de top.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex SiC Focus Ring este o componentă de inel de carbură de siliciu de înaltă puritate, concepută pentru a optimiza distribuția plasmei și uniformitatea procesului de plachetă în fabricarea semiconductorilor. Alegerea Semicorex înseamnă asigurarea unei calități consecvente, inginerie avansată a materialelor și performanță fiabilă, de care au încredere producătorii de semiconductori de top din întreaga lume.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăChuck-ul de măcinare a marginilor de placă semicorex este un disc ceramic fabricat din alumină albă de înaltă puritate, proiectată pentru măcinarea marginilor de wafer în fabricarea semiconductorilor. Alegerea semicorexului asigură o calitate superioară a materialelor, inginerie de precizie și performanțe fiabile care susțin cele mai solicitante medii de procesare a waferului.*
Citeşte mai multTrimite o anchetă