Semicorex este partenerul dumneavoastră pentru îmbunătățirea procesării semiconductoarelor. Acoperirile noastre cu carbură de siliciu sunt dense, rezistente la temperaturi ridicate și chimice, care sunt adesea folosite în întregul ciclu de fabricație a semiconductoarelor, inclusiv procesarea plachetelor și plăcilor de semiconductori și fabricarea semiconductoarelor.
Componentele ceramice SiC de înaltă puritate sunt cruciale pentru procesele din semiconductor. Oferta noastră variază de la piese consumabile pentru echipamentele de procesare a napolitanelor, cum ar fi napolitană cu carbură de siliciu, palete cantilever, tuburi etc. pentru Epitaxy sau MOCVD.
Avantaje pentru procesele semiconductoare
Fazele de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxia sau MOCVD, sau procesarea de manipulare a plachetelor, cum ar fi gravarea sau implantul ionic, trebuie să suporte temperaturi ridicate și curățări chimice dure. Semicorex furnizează o construcție cu carbură de siliciu de înaltă puritate (SiC) care oferă rezistență superioară la căldură și rezistență chimică durabilă, chiar și uniformitate termică pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epidermic.
Capacele camerei →
Capacele camerelor utilizate în procesarea creșterii cristalelor și a manipulării napolitanelor trebuie să reziste la temperaturi ridicate și curățări chimice dure.
Vâslă cantilever →
Cantilever Paddle este o componentă crucială utilizată în procesele de fabricație a semiconductoarelor, în special în cuptoarele de difuzie sau LPCVD în timpul proceselor precum difuzia și RTP.
Tub de proces →
Tubul de proces este o componentă crucială, proiectată special în diverse aplicații de procesare a semiconductoarelor, cum ar fi RTP, difuzie.
Barci cu napolitană →
Wafer Boat este folosită în procesarea semiconductoarelor, a fost proiectată meticulos pentru a se asigura că napolitanele delicate sunt păstrate în siguranță în etapele critice ale producției.
Inele de admisie →
Inelul de admisie a gazului acoperit cu SiC de către echipamentele MOCVD Creșterea compusului are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o stabilitate mare în mediul extrem.
Inel de focalizare →
Semicorex furnizează inelul de focalizare acoperit cu carbură de siliciu este cu adevărat stabil pentru curățarea RTA, RTP sau cu substanțe chimice dure.
Mandrină pentru napolitană →
Mandrinele de vacuum ultraplate din ceramică Semicorex sunt acoperite cu SiC de înaltă puritate în procesul de manipulare a plachetelor.
Semicorex are, de asemenea, produse ceramice din Alumină (Al2O3), Nitrură de Siliciu (Si3N4), Nitrură de Aluminiu (AIN), Zirconiu (ZrO2), Ceramică Compozită etc.
Special concepute pentru aplicații la temperaturi extreme, creuzetele cu nitrură de bor presate la cald sunt recipiente ceramice indispensabile care servesc drept soluții geniale atât pentru procesele de topire și evaporare a metalelor, cât și pentru procesele de creștere a cristalelor semiconductoare.
Citeşte mai multTrimite o anchetăFabricate din materiale din carbură de siliciu de înaltă calitate, tuburile de protecție pentru termocuplu SIC sunt soluții ceramice avansate utilizate pentru a proteja termocuplurile de funcționarea normală în medii solicitante cu temperatură înaltă. Alegeți Semicorex pentru tuburi de protecție pentru termocuplu SIC proiectate cu precizie, care asigură o calitate constantă, preț rentabil și eficiență de răcire maximizată.
Citeşte mai multTrimite o anchetăRealizate din ceramică cu carbură de siliciu de înaltă performanță, conductele de răcire cu carbură de siliciu sunt componente de conducte performante utilizate în procesele de răcire ale cuptoarelor industriale de înaltă temperatură. Alegeți Semicorex pentru conducte de răcire cu carbură de siliciu proiectate cu precizie, care asigură o calitate constantă, preț rentabil și eficiență de răcire maximizată.
Citeşte mai multTrimite o anchetăFrâna Semicorex Carbon Ceramic este realizată din compozite avansate de carbon ceramică, care sunt un material avansat care este foarte potrivit pentru mediul de lucru la temperatură înaltă. Semicorex livrează produse personalizate conform aplicațiilor și cerințelor clienților.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăPlaca de gravare ICP cu carbură de siliciu este un suport indispensabil pentru napolitană, fabricat din ceramică din carbură de siliciu sinterizată de înaltă puritate. Proiectat special de Semicorex, servește drept elemente de activare esențiale pentru sistemele de gravare și depunere cu plasmă cuplată inductiv (ICP) în industria semiconductoare de ultimă oră.
Citeşte mai multTrimite o anchetăCrezetele cu nitrură de aluminiu de la Semicorex sunt fabricate din ceramica AlN de calitate semiconductoare, care sunt vase de reacție de înaltă performanță aplicate în mediile provocatoare cu temperatură ridicată. Semicorex oferă producție personalizată conform cerințelor clientului, gestionând atât comenzile la scară mare, cât și nevoile de prototipuri pentru loturi mici.
Citeşte mai multTrimite o anchetă