Semicorex este partenerul dumneavoastră pentru îmbunătățirea procesării semiconductoarelor. Acoperirile noastre cu carbură de siliciu sunt dense, rezistente la temperaturi ridicate și chimice, care sunt adesea folosite în întregul ciclu de fabricație a semiconductoarelor, inclusiv procesarea plachetelor și plăcilor de semiconductori și fabricarea semiconductoarelor.
Componentele ceramice SiC de înaltă puritate sunt cruciale pentru procesele din semiconductor. Oferta noastră variază de la piese consumabile pentru echipamentele de procesare a napolitanelor, cum ar fi napolitană cu carbură de siliciu, palete cantilever, tuburi etc. pentru Epitaxy sau MOCVD.
Avantaje pentru procesele semiconductoare
Fazele de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxia sau MOCVD, sau procesarea de manipulare a plachetelor, cum ar fi gravarea sau implantul ionic, trebuie să suporte temperaturi ridicate și curățări chimice dure. Semicorex furnizează o construcție cu carbură de siliciu de înaltă puritate (SiC) care oferă rezistență superioară la căldură și rezistență chimică durabilă, chiar și uniformitate termică pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epidermic.
Capacele camerei →
Capacele camerelor utilizate în procesarea creșterii cristalelor și a manipulării napolitanelor trebuie să reziste la temperaturi ridicate și curățări chimice dure.
Vâslă cantilever →
Cantilever Paddle este o componentă crucială utilizată în procesele de fabricație a semiconductoarelor, în special în cuptoarele de difuzie sau LPCVD în timpul proceselor precum difuzia și RTP.
Tub de proces →
Tubul de proces este o componentă crucială, proiectată special în diverse aplicații de procesare a semiconductoarelor, cum ar fi RTP, difuzie.
Barci cu napolitană →
Wafer Boat este folosită în procesarea semiconductoarelor, a fost proiectată meticulos pentru a se asigura că napolitanele delicate sunt păstrate în siguranță în etapele critice ale producției.
Inele de admisie →
Inelul de admisie a gazului acoperit cu SiC de către echipamentele MOCVD Creșterea compusului are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o stabilitate mare în mediul extrem.
Inel de focalizare →
Semicorex furnizează inelul de focalizare acoperit cu carbură de siliciu este cu adevărat stabil pentru curățarea RTA, RTP sau cu substanțe chimice dure.
Mandrină pentru napolitană →
Mandrinele de vacuum ultraplate din ceramică Semicorex sunt acoperite cu SiC de înaltă puritate în procesul de manipulare a plachetelor.
Semicorex are, de asemenea, produse ceramice din Alumină (Al2O3), Nitrură de Siliciu (Si3N4), Nitrură de Aluminiu (AIN), Zirconiu (ZrO2), Ceramică Compozită etc.
Discurile de deviere a gazului acoperite cu Semicorex SiC sunt componentele indispensabile din grafit aplicate în echipamentul epitaxial semiconductor, concepute special pentru a regla fluxul de gaz de reacție și pentru a promova distribuția uniformă a gazului în camera de reacție. Alegeți Semicorex, alegeți soluțiile optime de deviere a gazului pentru rezultate epitaxiale de napolitană de înaltă calitate.
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex SiC Wafer Carrier este fabricat din ceramică cu carbură de siliciu de înaltă puritate, prin tehnologia de imprimare 3D, ceea ce înseamnă că poate realiza componente de prelucrare de mare preț într-un timp scurt. Se consideră că Semicorex oferă clienților noștri din întreaga lume produse calificate de înaltă calitate.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăInelele de masă superioare acoperite cu Semicorex CVD SiC sunt componentele esențiale în formă de inel, concepute special pentru echipamentele sofisticate de gravare cu plasmă. În calitate de furnizor lider în industrie de componente semiconductoare, Semicorex se concentrează pe furnizarea de inele superioare acoperite cu CVD SiC de înaltă calitate, de lungă durată și ultra-curate, pentru a ajuta clienții noștri valoroși să îmbunătățească eficiența operațională și calitatea generală a produsului.
Citeşte mai multTrimite o anchetăEtanșările Semicorex SiC sunt componente mecanice de înaltă performanță concepute pentru a oferi rezistență superioară la uzură, stabilitate termică și inerție chimică universală în cele mai solicitante medii de echipamente rotative. Semicorex este un furnizor profesionist de materiale ceramice SiC, care poate furniza produse de înaltă precizie pentru clienții globali.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex SiC Pedestal este o componentă hardware multifuncțională de înaltă precizie, concepută pentru a oferi stabilitatea termică și distribuția complexă a fluidelor necesare sistemelor avansate de reacție cu microcanale. Semicorex este specializată în proiectarea și furnizarea acestor piedestale SiC de înaltă puritate, în funcție de nevoile clienților.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăPlăcile de lustruire a plachetelor de alumină Semicorex sunt componentele de lustruire de înaltă performanță realizate din ceramică de alumină, care sunt concepute special pentru procesul de lustruire a plachetelor din industria semiconductoarelor de vârf. Alegând Semicorex, alegeți produsele cu prețuri rentabile, durabilitate excepțională și performanță de procesare extrem de eficientă.
Citeşte mai multTrimite o anchetă