Grafitul de acoperire TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere în vapori chimici (CVD).
Carbura de tantal (TaC) este un compus care constă din tantal și carbon. Are conductivitate electrică metalică și un punct de topire excepțional de ridicat, ceea ce îl face un material ceramic refractar cunoscut pentru rezistența, duritatea și rezistența sa la căldură și uzură. Punctul de topire al carburilor de tantal atinge un vârf la aproximativ 3880°C, în funcție de puritate și are unul dintre cele mai înalte puncte de topire dintre compușii binari. Acest lucru îl face o alternativă atractivă atunci când cerințele de temperatură mai ridicate depășesc capacitățile de performanță utilizate în procesele epitaxiale semiconductoare compuși, cum ar fi MOCVD și LPE.
Datele materiale ale Semicorex TaC Coating
|
Proiecte |
Parametrii |
|
Densitate |
14,3 (gm/cm³) |
|
Emisivitate |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Duritate (HK) |
2000 |
|
Rezistență (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Stabilitate termică |
<2500℃ |
|
Schimbarea dimensiunii grafitului |
-10~-20um (valoare de referință) |
|
Grosimea acoperirii |
≥20um valoare tipică (35um±10um) |
|
|
|
|
Cele de mai sus sunt valori tipice |
|
Inelele de carbură de tantal poroasă Semicorex sunt componente refractare de înaltă performanță concepute special pentru procesul de transport fizic al vaporilor (PVT) al creșterii cristalelor de carbură de siliciu (SiC), având o structură sinterizată monolitică care oferă stabilitate termică excepțională și permeabilitate controlată la gaz.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSuceptorii plachetelor de grafit acoperite cu Semicorex TaC sunt componentele de ultimă oră aplicate în mod tipic pentru a susține și poziționa stabil plachetele semiconductoare în timpul proceselor epitaxiale avansate de semiconductor. Folosind tehnologiile de producție de ultimă oră și experiența matură în producție, Semicorex se angajează să furnizeze clienților noștri valoroși suceptori de napolitană de grafit acoperiți cu TaC, proiectați la comandă, cu o calitate de lider pe piață.
Citeşte mai multTrimite o anchetăSusceptorii Semicorex CVD TaC acoperiți sunt susceptori de grafit de înaltă performanță, cu o acoperire densă TaC, proiectați pentru a oferi o uniformitate termică excelentă și rezistență la coroziune pentru procesele de creștere epitaxiale SiC solicitante. Semicorex combină tehnologia avansată de acoperire CVD cu un control strict al calității pentru a oferi susceptori de lungă durată, cu o contaminare scăzută, în care au încredere producătorii globali SiC epi.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăInelele de ghidare acoperite cu carbură de tantal Semicorex sunt componentele inelare de înaltă performanță utilizate în echipamentele de creștere a cristalelor semiconductoare. Sunt concepute special pentru a crea un gradient de temperatură adecvat și un mediu stabil de flux de aer în timpul creșterii cristalelor. Alegând inele de ghidare acoperite cu carbură de tantal Semicorex, veți beneficia de o tehnologie de acoperire de neegalat și de o experiență de producție extrem de eficientă și stabilă.
Citeşte mai multTrimite o anchetăCreuza de grafit acoperit Semicorex TaC este realizată prin grafit de acoperire cu Carbură de Tantal prin metoda CVD, care este cel mai potrivit material aplicat în procesul de fabricație a semiconductorilor. Semicorex este o companie specializată în mod constant în acoperirea ceramică CVD și oferă cele mai bune soluții de materiale din industria semiconductoarelor.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex TaC Coated Components in Epitaxial Growth este o piesă prelucrată prețioasă situată în admisia de aer în procesul epitaxial în semiconductor. Semicorex este o companie de top care este specializată în tehnologia de acoperire CVD TaC în China și exportă produse în întreaga lume.*
Citeşte mai multTrimite o anchetă