În calitate de producător profesionist, am dori să vă oferim componente semiconductoare. Semicorex este partenerul dumneavoastră pentru îmbunătățirea procesării semiconductoarelor. Acoperirile noastre cu carbură de siliciu sunt dense, rezistente la temperaturi ridicate și chimice, care sunt adesea folosite în întregul ciclu de fabricație a semiconductoarelor, inclusiv în procesarea plăcilor și a plăcilor de semiconductori și fabricarea semiconductoarelor.
Componentele acoperite cu SiC de înaltă puritate sunt cruciale pentru procesele din semiconductor. Oferta noastră variază de la consumabile de grafit pentru zonele fierbinți de creștere a cristalului (încălzitoare, creuzete susceptoare, izolație), până la componente de grafit de înaltă precizie pentru echipamentele de procesare a plachetelor, cum ar fi susceptori de grafit acoperiți cu carbură de siliciu pentru Epitaxy sau MOCVD.
Avantaje pentru procesele semiconductoare
Fazele de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxia sau MOCVD, sau procesarea de manipulare a plachetelor, cum ar fi gravarea sau implantul ionic, trebuie să suporte temperaturi ridicate și curățări chimice dure. Semicorex furnizează o construcție cu grafit acoperit cu carbură de siliciu (SiC) de înaltă puritate, care oferă rezistență superioară la căldură și rezistență chimică durabilă, chiar și uniformitate termică pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epidermic.
Capacele camerei →
Capacele camerelor utilizate în procesarea creșterii cristalelor și a manipulării napolitanelor trebuie să reziste la temperaturi ridicate și curățări chimice dure.
Efector final →
Efectorul final este mâna robotului care mută plăcile semiconductoare între pozițiile din echipamentele de procesare a plăcilor și suporturi.
Inele de admisie →
Inelul de admisie a gazului acoperit cu SiC de către echipamentul MOCVD Creșterea compusului are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o stabilitate mare în mediu extrem.
Inel de focalizare →
Semicorex furnizează inelul de focalizare acoperit cu carbură de siliciu este cu adevărat stabil pentru curățarea RTA, RTP sau cu substanțe chimice dure.
Mandrină pentru napolitană →
Mandrinele de vacuum ultraplate din ceramică Semicorex sunt acoperite cu SiC de înaltă puritate în procesul de manipulare a plachetelor.
Chuck-ul de măcinare a marginilor de placă semicorex este un disc ceramic fabricat din alumină albă de înaltă puritate, proiectată pentru măcinarea marginilor de wafer în fabricarea semiconductorilor. Alegerea semicorexului asigură o calitate superioară a materialelor, inginerie de precizie și performanțe fiabile care susțin cele mai solicitante medii de procesare a waferului.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăChucile de alumină poroasă semicorexă sunt un microporos de vid de alumină neagră cu 35-40% porozitate, concepute pentru a oferi aspirație uniformă și o manevrare sigură a plafonului la fabricarea semiconductorilor. Alegerea semicorexului înseamnă o inginerie ceramică fiabilă, o calitate superioară a materialelor și performanțe consistente care protejează randamentul și stabilitatea procesului.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăMuchele de vid semicorex al2O3 sunt elemente de adsorbție ceramică microporoasă, obținute din alumină neagră, cu o porozitate de 35-40%, special concepută pentru manipularea waferului în aplicațiile semiconductoare. Alegerea semicorexului înseamnă a beneficia de tehnologie ceramică avansată, inginerie de precizie și o calitate fiabilă a produsului care să asigure performanțe stabile în medii de cameră curată.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex Alumina Ceramic Arm este o componentă robotizată de înaltă puritate, proiectată pentru o manevrare precisă și fără contaminare a wafer-ului la fabricarea semiconductorilor. Alegerea semicorexului asigură nu numai calitatea avansată a materialelor ceramice din alumină, ci și măiestria de precizie care garantează durabilitatea, curățenia și fiabilitatea în mediile de proces critice.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăInelele de intrare semicorex SIC sunt componente de carbură de siliciu de înaltă performanță proiectate pentru echipamente de procesare a semiconductorului, oferind o stabilitate termică excepțională, rezistență chimică și prelucrare de precizie. Alegerea semicorexului înseamnă a obține acces la soluții fiabile, personalizate și fără contaminare de încredere de producătorii de semiconductori de frunte.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex SIC ARM este o componentă de carbură de siliciu de înaltă puritate, proiectată pentru o manipulare precisă a plafonului și poziționarea în fabricarea semiconductorilor. Alegerea semicorexului asigură fiabilitatea materialelor de neegalat, rezistența chimică și inginerie de precizie care susțin cele mai solicitante procese semiconductoare.*
Citeşte mai multTrimite o anchetă