În calitate de producător profesionist, am dori să vă oferim componente semiconductoare. Semicorex este partenerul dumneavoastră pentru îmbunătățirea procesării semiconductoarelor. Acoperirile noastre cu carbură de siliciu sunt dense, rezistente la temperaturi ridicate și chimice, care sunt adesea folosite în întregul ciclu de fabricație a semiconductoarelor, inclusiv în procesarea plăcilor și a plăcilor de semiconductori și fabricarea semiconductoarelor.
Componentele acoperite cu SiC de înaltă puritate sunt cruciale pentru procesele din semiconductor. Oferta noastră variază de la consumabile de grafit pentru zonele fierbinți de creștere a cristalului (încălzitoare, creuzete susceptoare, izolație), până la componente de grafit de înaltă precizie pentru echipamentele de procesare a plachetelor, cum ar fi susceptori de grafit acoperiți cu carbură de siliciu pentru Epitaxy sau MOCVD.
Avantaje pentru procesele semiconductoare
Fazele de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxia sau MOCVD, sau procesarea de manipulare a plachetelor, cum ar fi gravarea sau implantul ionic, trebuie să suporte temperaturi ridicate și curățări chimice dure. Semicorex furnizează o construcție cu grafit acoperit cu carbură de siliciu (SiC) de înaltă puritate, care oferă rezistență superioară la căldură și rezistență chimică durabilă, chiar și uniformitate termică pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epidermic.
Capacele camerei →
Capacele camerelor utilizate în procesarea creșterii cristalelor și a manipulării napolitanelor trebuie să reziste la temperaturi ridicate și curățări chimice dure.
Efector final →
Efectorul final este mâna robotului care mută plăcile semiconductoare între pozițiile din echipamentele de procesare a plăcilor și suporturi.
Inele de admisie →
Inelul de admisie a gazului acoperit cu SiC de către echipamentul MOCVD Creșterea compusului are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o stabilitate mare în mediu extrem.
Inel de focalizare →
Semicorex furnizează inelul de focalizare acoperit cu carbură de siliciu este cu adevărat stabil pentru curățarea RTA, RTP sau cu substanțe chimice dure.
Mandrină pentru napolitană →
Mandrinele de vacuum ultraplate din ceramică Semicorex sunt acoperite cu SiC de înaltă puritate în procesul de manipulare a plachetelor.
Acoperirea CVD SiC a încălzitorului de acoperire Semicorex SiC oferă performanțe superioare în protejarea elementelor de încălzire de mediile dure, corozive și reactive întâlnite adesea în procese precum depunerea în vapori metalo-organici (MOCVD) și creșterea epitaxială.**
Citeşte mai multTrimite o anchetăCapul de duș metalic, cunoscut sub numele de placă de distribuție a gazului sau cap de duș cu gaz, este o componentă critică utilizată pe scară largă în procesele de fabricare a semiconductoarelor. Funcția sa principală este de a distribui uniform gazele într-o cameră de reacție, asigurând că materialele semiconductoare intră în contact uniform cu procesul. gaze.**
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎncălzitorul MOCVD de la Semicorex este o componentă foarte avansată și meticuloasă, care oferă o multitudine de avantaje, inclusiv puritate chimică excepțională, eficiență termică, conductivitate electrică, emisivitate ridicată, rezistență la coroziune, inoxidabilitate și rezistență mecanică.**
Citeşte mai multTrimite o anchetă