În calitate de producător profesionist, am dori să vă oferim componente semiconductoare. Semicorex este partenerul dumneavoastră pentru îmbunătățirea procesării semiconductoarelor. Acoperirile noastre cu carbură de siliciu sunt dense, rezistente la temperaturi ridicate și chimice, care sunt adesea folosite în întregul ciclu de fabricație a semiconductoarelor, inclusiv în procesarea plăcilor și a plăcilor de semiconductori și fabricarea semiconductoarelor.
Componentele acoperite cu SiC de înaltă puritate sunt cruciale pentru procesele din semiconductor. Oferta noastră variază de la consumabile de grafit pentru zonele fierbinți de creștere a cristalului (încălzitoare, creuzete susceptoare, izolație), până la componente de grafit de înaltă precizie pentru echipamentele de procesare a plachetelor, cum ar fi susceptori de grafit acoperiți cu carbură de siliciu pentru Epitaxy sau MOCVD.
Avantaje pentru procesele semiconductoare
Fazele de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxia sau MOCVD, sau procesarea de manipulare a plachetelor, cum ar fi gravarea sau implantul ionic, trebuie să suporte temperaturi ridicate și curățări chimice dure. Semicorex furnizează o construcție cu grafit acoperit cu carbură de siliciu (SiC) de înaltă puritate, care oferă rezistență superioară la căldură și rezistență chimică durabilă, chiar și uniformitate termică pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epidermic.
Capacele camerei →
Capacele camerelor utilizate în procesarea creșterii cristalelor și a manipulării napolitanelor trebuie să reziste la temperaturi ridicate și curățări chimice dure.
Efector final →
Efectorul final este mâna robotului care mută plăcile semiconductoare între pozițiile din echipamentele de procesare a plăcilor și suporturi.
Inele de admisie →
Inelul de admisie a gazului acoperit cu SiC de către echipamentul MOCVD Creșterea compusului are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o stabilitate mare în mediu extrem.
Inel de focalizare →
Semicorex furnizează inelul de focalizare acoperit cu carbură de siliciu este cu adevărat stabil pentru curățarea RTA, RTP sau cu substanțe chimice dure.
Mandrină pentru napolitană →
Mandrinele de vacuum ultraplate din ceramică Semicorex sunt acoperite cu SiC de înaltă puritate în procesul de manipulare a plachetelor.
Electrozii de siliciu monocristal Semicorex servesc atât ca electrozi, cât și cai de gravare a gazului în timpul procesului de gravare a plachetelor. Electrozii de siliciu monocristal Semicorex sunt componentele indispensabile de siliciu proiectate special pentru fabricarea de gravare a semiconductorilor de ultimă generație, ceea ce poate ajuta la îmbunătățirea preciziei și uniformității gravării.
Citeşte mai multTrimite o anchetăPaletele Semicorex Cantilever sunt componente proiectate cu precizie, concepute pentru aplicații de procesare a semiconductoarelor de înaltă temperatură și puritate ridicată. Semicorex oferă palete cantilever de înaltă calitate pentru a satisface cerințele exigente ale sistemelor avansate de manipulare a plachetelor și de management termic.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăInelele de gravare cu siliciu Semicorex sunt componente de gravare de precizie în formă de inel, fabricate din siliciu monocristal de înaltă puritate. Acestea sunt părțile esențiale din siliciu utilizate în echipamentele de gravare cu plasmă, concepute special pentru a crea condiții optime de gravare cu plasmă. Alegeți Semicorex, alegeți inelele de gravare din silicon de înaltă calitate.
Citeşte mai multTrimite o anchetăTuburile de cuptor Semicorex pentru LPCVD sunt componente tubulare fabricate cu precizie, cu acoperire CVD SiC uniformă și densă. Special concepute pentru procesul avansat de depunere a vaporilor chimici la presiune joasă, tuburile de cuptor Semicorex pentru LPCVD sunt capabile să ofere medii adecvate de reacție la temperatură înaltă și joasă presiune pentru a îmbunătăți calitatea și randamentul depunerii de film subțire a plachetelor.
Citeşte mai multTrimite o anchetăTuburile de cuptoare acoperite cu Semicorex CVD SiC sunt componentele tubulare de ultimă generație fabricate special pentru procesarea semiconductoarelor la temperatură înaltă, cum ar fi oxidarea, difuzia și recoacerea plachetelor semiconductoare. Folosind tehnologii avansate de procesare și experiență matură în producție, Semicorex se angajează să furnizeze clienților noștri valoroși tuburi de cuptor acoperite cu CVD SiC prelucrate cu precizie, cu o calitate de vârf.
Citeşte mai multTrimite o anchetăTuburile de proces Semicorex SiC sunt fabricate din ceramică SiC de înaltă puritate cu acoperire CVD SiC, sunt potrivite pentru cuptorul orizontal în semiconductor. Având în vedere calitatea produsului și serviciul post-vânzare, Semicorex este cel care dorește să facă afaceri de înaltă calitate cu clienții noștri din întreaga lume.*
Citeşte mai multTrimite o anchetă