Electrozi curbați din silicon

În timpul echipamentului de gravare avansat, electrodul curbat de siliciu este de obicei montat pe partea superioară a camerei de gravare, cu fața către placheta semiconductoare. Electrodul curbat din siliciu funcționează de obicei împreună cu mandrina electrostatică, inelul de focalizare Si, inelul de margine Si, inelul de evacuare Si și inelul de ecranare Si pentru a oferi condiții optime de funcționare pentru gravarea de înaltă precizie.

Funcțiile electrozilor curbate din silicon Semicorex

1. Compatibil cu gravarea complexă a structurii 3D

Cu o capacitate excepțională de control 3D a câmpului electric, Semicorexelectrozi curbați de siliciuse pot potrivi perfect cu caracteristicile geometrice ale structurilor complexe. Designul special curbat permite controlul precis al plasmei și distribuția optimizată a energiei, ceea ce afectează în mod semnificativ raportul de aspect și verticalitatea peretelui lateral al gravării structurii 3D și îndeplinește pe deplin cerințele liniei de producție ale proceselor avansate de ambalare și integrării IC 3D.

2. Controlul precis al distribuției gazului de gravare

Electrozii curbați de siliciu Semicorex prezintă mai multe micro-găuri distribuite uniform pe suprafața lor pentru ca gazul de gravare să intre în camera de gravare. Electrozii curbați de siliciu Semicorex pot realiza un control precis asupra gazului de gravare și îi permit să fie distribuit uniform în camera de gravare, reducând astfel la minimum variațiile procesului cauzate de distribuția neuniformă a gazului.

Avantajele electrozilor curbate din silicon Semicorex

1. Puritate ultra-înaltă

Electrozii curbați din silicon Semicorex sunt fabricați din monocristal de puritate ultra-înaltăsiliciucu un nivel de puritate peste 99,9999999%, oferind o rezistenta superioara la eroziunea plasmatica. Această selecție de materiale la standarde înalte poate evita în mod eficient contaminarea nedorită rezultată din gravarea produselor secundare, prelungind în același timp în mod semnificativ durata de viață a electrozilor curbați de siliciu.

2. Proprietăți electrice excelente

Fabricați din siliciu monocristal dezvoltat de MCZ, electrozii curbați din siliciu Semicorex prezintă o uniformitate superbă a rezistivității: ＜5% și o gamă largă de rezistivitate selectabilă: joasă rezoluție. (<0,02), res. mijlocie. (1–4) și de înaltă rezoluție. (70–90).

3. Precizie de prelucrare

Prin prelucrarea mecanică de înaltă precizie, electrozii curbați din siliciu Semicorex obțin o dimensiune constantă a porilor și o distribuție uniformă a orificiilor. Suprafețele lor sunt fin lustruite și șlefuite: lustruite (Ra < 0,1 μm) și șlefuite (Ra < 1,6 μm), cu precizie generală de prelucrare controlată în 0,03 mm.