Suportul de gravare PSS (Patterned Sapphire Substrate) este utilizat la fabricarea dispozitivelor LED. Purtătorul de gravare PSS servește ca substrat pentru creșterea unui film subțire de nitrură de galiu (GaN) care formează structura LED, apoi experimentează procesul de gravare. Deci necesită material cu rezistență ridicată la căldură și coroziune. Suport de gravare PSS acoperit cu Semicorex SiC, conceput special pentru aceste aplicații solicitante de echipamente de epitaxie. Purtătorul este acoperit cu carbură de siliciu prin metoda CVD, are, de asemenea, o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.