Purtătorul Semicorex RTP este acoperit cu carbură de siliciu folosind procesul de depunere chimică în vapori (CVD), care este cu adevărat stabil pentru RTA, RTP sau curățarea chimică dure. În centrul procesului semiconductor, susceptorii epitaxiei sunt supuși mai întâi mediului de depunere, astfel încât are rezistență ridicată la căldură și coroziune. Purtătorul acoperit cu SiC are, de asemenea, o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.
● Grafit acoperit cu SiC de înaltă puritate
● Rezistență superioară la căldură și rezistență chimică
● O uniformitate termică ridicată
● Rezistență excelentă la uzură