Capacele camerelor sunt folosite pentru a crea un mediu curat, inert și protejat în camerele de depunere, astfel încât acestea sunt expuse la plasmă și la temperaturi ridicate în timpul proceselor de depunere sau de gravare. Capacele camerelor Semicorex sunt componente ceramice durabile acoperite cu carbură de siliciu folosind metoda depunerii chimice în vapori (CVD), excelente pentru a face față acestor medii provocatoare.