Placa centrală din grafit Semicorex sau susceptorul MOCVD este carbură de siliciu de înaltă puritate acoperită prin metoda depunerii chimice în vapori (CVD), folosind în acest proces creșterea stratului epitaxial pe cipul de plachetă. Susceptorul acoperit cu SiC este o parte esențială în MOCVD, așa că necesită o rezistență superioară la căldură și chimică, precum și uniformitate termică ridicată. Am proiectat special pentru aceste aplicații solicitante de echipamente de epitaxie.