Susceptori de napolitană de grafit de 1x2".

În fabricarea plăcilor semiconductoare, stratul epitaxial trebuie să fie crescut pe substratul plăcilor pentru fabricarea ulterioară a dispozitivelor semiconductoare. Deoarece procesul de creștere epitaxială este foarte sensibil la fluctuațiile de temperatură și contaminare, selecțiile de încrederesusceptori de napolitanăsunt extrem de importante. Fiind piesele suport indispensabile în procesul de epitaxie a plachetelor, precizia de prelucrare, capacitatea de gestionare termică și performanța rezistenței la contaminare sunt factori esențiali în obținerea creșterii epitaxiale de înaltă calitate.

Funcțiile susceptorilor de plachete de grafit Semicorex 1x2".

Fabricați din grafit de înaltă puritate, cu granulație ultra-fină, ca matrice, cu acoperire densă din carbură de siliciu prin procese speciale, suporturile de plachetă de grafit Semicorex 1x2" asigură următoarele funcții:

1.Deținere sigură și învechită

Semicorex 1x2"grafitSuceptorii de napolitană prezintă prelucrare și tratament de precizie, oferind o planeitate excepțională a suprafeței și precizie dimensională. Acest lucru asigură că sunt fixate ferm într-o poziție adecvată și oferă o platformă de sprijin stabilă și plată pentru creșterea epitaxială a plachetelor.

2. Distribuție uniformă a căldurii de precizie

Cu conductivitatea termică excelentă a materialelor din grafit și SiC, susceptorii de plachetă de grafit Semicorex 1x2" asigură o distribuție rapidă și uniformă a căldurii în substanța semiconductoare. Prin minimizarea gradienților de temperatură, susceptorii de plachetă de grafit Semicorex 1x2" pot evita în mod eficient probleme precum calitatea epitaxială neuniformă și concentrația de stres.

Avantajele acoperirii cu carbură de siliciu Semicorex

1. Rezistență superioară la coroziune

Acoperiți cu o acoperire densă din carbură de siliciu, suporturile de plachetă de grafit Semicorex 1x2" sunt rezistente efectiv la majoritatea substanțelor chimice, făcându-le potrivite pentru aplicații în condiții de operare foarte corozive, unde materialul este expus frecvent la gaze corozive și vapori chimici.

2.Scădere redusă de particule

Semicorexacoperire cu carbură de siliciuare o rezistență ridicată de aderență cu matricea de grafit, ceea ce poate evita în mod semnificativ riscul de contaminare a substratului din cauza detașării stratului de acoperire din cauza coroziunii și a căderii particulelor cauzate de mediile cu coroziune ridicată.

3. Durată de viață de încredere

Deși matricele de grafit prezintă o stabilitate termică și rezistență mecanică excelente, sunt predispuse la coroziune și pulverizare în condițiile de funcționare ale procesului epitaxial, scurtează foarte mult durata de viață a matricelor de grafit neacoperite. Prin încapsularea completă a matricelor de grafit cu acoperiri dense de SiC, susceptorii noștri de plachetă de grafit de 1 × 2 inchi realizează o durabilitate superioară și fiabilă.

Date materiale ale Semicorex SiC Coating