Susceptor MOCVD pentru creșterea epitaxială

Semicorex este un furnizor și producător lider de susceptor MOCVD pentru creșterea epitaxială. Produsul nostru este utilizat pe scară largă în industriile semiconductoarelor, în special în creșterea stratului epitaxial de pe cipul wafer. Susceptorul nostru este conceput pentru a fi utilizat ca placă centrală în MOCVD, cu un design în formă de roată sau inel. Produsul are rezistență ridicată la căldură și coroziune, făcându-l stabil în medii extreme.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Unul dintre avantajele susceptorului nostru MOCVD pentru creșterea epitaxială este capacitatea sa de a asigura acoperirea pe toată suprafața, evitând decojirea. Produsul are rezistenta la oxidare la temperaturi ridicate, ceea ce asigura stabilitate la temperaturi ridicate de pana la 1600°C. Puritatea ridicată a produsului nostru este atinsă prin depunerea de vapori chimici CVD în condiții de clorinare la temperatură înaltă. Suprafața densă cu particule fine asigură că produsul este foarte rezistent la coroziune de la acid, alcali, sare și reactivi organici.
Susceptorul nostru MOCVD pentru creșterea epitaxială este proiectat pentru a obține cel mai bun model de flux laminar de gaz, asigurând uniformitatea profilului termic. Acest lucru ajută la prevenirea oricărei contaminari sau difuzia impurităților, asigurând creșterea epitaxială de înaltă calitate pe cipul de napolitană.
Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre susceptorul nostru MOCVD pentru creșterea epitaxială.

Parametrii susceptorului MOCVD pentru creșterea epitaxială

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitate termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristicile susceptorului MOCVD pentru creșterea epitaxială

- Evitați decojirea și asigurați acoperirea pe toată suprafața
Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate: stabil la temperaturi ridicate de până la 1600°C
Puritate ridicată: realizat prin depunere chimică de vapori CVD în condiții de clorinare la temperatură ridicată.
Rezistență la coroziune: duritate mare, suprafață densă și particule fine.
Rezistență la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
- Obțineți cel mai bun model de flux de gaz laminar
- Garantează uniformitatea profilului termic
- Preveniți orice contaminare sau difuzia impurităților