Susceptor de clătite, o formă rotundă de purtător de napolitană utilizat în procesarea semiconductoarelor.
Epitaxia este o etapă crucială în procesarea semiconductoarelor care cresc stratul epitaxial pe plăcile semiconductoare, în care plăcile sunt transportate pe susceptorii de grafit. Calitățile susceptorilor de grafit sunt afecțiuni cheie pentru calitatea epi-plachetelor.
Susceptori din grafit cu acoperire cu carbură de siliciu
Semicorex furnizează susceptori și componente pentru toate reactoarele de epitaxie, inclusivsusceptori de butoiși susceptori de clătite. Folosim grafit de înaltă puritate și acoperire CVD SiC.