Inelul de focalizare sau inelele de margine sunt proiectate pentru a îmbunătăți uniformitatea gravării în jurul marginii sau perimetrului plachetei.
Inelele de focalizare Semicorex sunt acoperite cu carbură de siliciu folosind depunere chimică de vapori (CVD) oferă rezistență superioară la căldură, uniformitate termică chiar pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epi și rezistență chimică durabilă, care sunt construite pentru a rezista la mediile extreme în procesul de gravare cu plasmă sau de gravare uscată. .
Inelele de focalizare durabile Semicorex pentru procesarea semiconductoarelor sunt proiectate pentru a rezista la mediile extreme ale camerelor de gravare cu plasmă utilizate în procesarea semiconductoarelor. Inelele noastre de focalizare sunt realizate din grafit de înaltă puritate acoperit cu un strat dens, rezistent la uzură, cu carbură de siliciu (SiC). Acoperirea SiC are proprietăți ridicate de rezistență la coroziune și căldură, precum și o conductivitate termică excelentă. Aplicăm SiC în straturi subțiri pe grafit folosind procesul de depunere chimică în vapori (CVD) pentru a îmbunătăți durata de viață a inelelor noastre de focalizare.
Citeşte mai multTrimite o anchetăInelul de focalizare pentru procesarea cu plasmă Semicorex este special conceput pentru a satisface cerințele ridicate ale procesării de gravare cu plasmă din industria semiconductoarelor. Componentele noastre avansate, de înaltă puritate, acoperite cu carbură de siliciu sunt construite pentru a rezista la medii extreme și sunt potrivite pentru utilizare în diverse aplicații, inclusiv straturi de carbură de siliciu și semiconductori de epitaxie.
Citeşte mai multTrimite o anchetăInelele de focalizare SiC avansate, de înaltă puritate Semicorex sunt construite pentru a rezista la mediile extreme din camerele de gravare cu plasmă (sau gravare uscată). Ne concentrăm pe industriile semiconductoarelor, cum ar fi straturile de carbură de siliciu și semiconductorii de epitaxie. Produsele noastre au un avantaj de preț bun și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetă