Inelul de focalizare sau inelele de margine sunt proiectate pentru a îmbunătăți uniformitatea gravată în jurul marginii sau perimetrului plachetei.
Inelele de focalizare Semicorex sunt acoperite cu carbură de siliciu folosind depunere chimică de vapori (CVD) oferă rezistență superioară la căldură, uniformitate termică chiar pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epi și rezistență chimică durabilă, care sunt construite pentru a rezista la mediile extreme în procesul de gravare cu plasmă sau de gravare uscată. .