Susceptor de grafit acoperit cu SiC pentru MOCVD

Semicorex este un producător și furnizor pe scară largă de susceptor de grafit acoperit cu carbură de siliciu în China. Ne concentrăm pe industriile semiconductoare, cum ar fi straturile de carbură de siliciu și semiconductorul de epitaxie. Susceptorul nostru de grafit acoperit cu SiC pentru MOCVD are un avantaj de preț bun și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul tău pe termen lung.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Susceptor de grafit acoperit cu SiC Semicorex pentru MOCVD este un purtător de grafit acoperit cu carbură de siliciu de înaltă puritate, care se folosește în acest proces pentru a crește stratul epixial de pe cipul de napolitană. Este placa centrală în MOCVD, forma angrenajului sau a inelului. Susceptor de grafit acoperit cu SiC pentru MOCVD are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o stabilitate mare în medii extreme.
La Semicorex, ne angajăm să oferim clienților noștri produse și servicii de înaltă calitate. Folosim doar cele mai bune materiale, iar produsele noastre sunt concepute pentru a îndeplini cele mai înalte standarde de calitate și performanță. Susceptorul nostru de grafit acoperit cu SiC pentru MOCVD nu face excepție. Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre cum vă putem ajuta cu nevoile dvs. de procesare a plachetelor cu semiconductori.

Parametrii susceptorului de grafit acoperit cu SiC pentru MOCVD

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitatea termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristici ale susceptorului de grafit acoperit cu SiC pentru MOCVD

- Evitați decojirea și asigurați acoperirea pe toată suprafața
Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate: stabil la temperaturi ridicate de până la 1600°C
Puritate ridicată: realizat prin depunere chimică de vapori CVD în condiții de clorinare la temperatură ridicată.
Rezistență la coroziune: duritate mare, suprafață densă și particule fine.
Rezistență la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
- Obțineți cel mai bun model de flux laminar de gaz
- Garantează uniformitatea profilului termic
- Preveniți orice contaminare sau difuzia impurităților