Susceptori planetari acoperiți cu SiC

Susceptorii planetari acoperiți cu Semicorex SiC sunt o componentă de susținere indispensabilă concepută pentru creșterea epitaxială a semiconductoarelor în echipamentele Aixtron G2, în care sunt capabile să susțină în siguranță plachetele și să se rotească într-un mod de mișcare planetară. În acest fel, uniformitatea termică precisă și distribuția uniformă a gazelor pe suprafața plachetei pot fi atinse cu succes, ceea ce are ca rezultat depunerea stratului epitaxial de calitate premium pe plachete.

Avantajele susceptorilor planetari acoperiți cu Semicorex SiC

1. Design de buzunar multi-plachetă

Acoperit cu Semicorex SiCsusceptori planetariprezintă o distribuție uniformă a mai multor buzunare pentru napolitane cu dimensiuni controlate cu precizie. Aceste buzunare pentru plachete sunt capabile să țină ferm substraturile plachetelor în timpul procesului de creștere epitaxială, ceea ce poate minimiza în mod eficient variațiile procesului epitaxial cauzate de mișcarea nedorită a substraturilor plachetelor. În plus, acest design de buzunar multi-plachetă permite mai multor substraturi de plachetă să sufere depuneri epitaxiale simultan într-o singură rulare a procesului, îmbunătățind considerabil eficiența generală a procesului de creștere epitaxială.

2. Aranjament optimizat al orificiilor pentru fluxul de gaz

Semicorex încorporează în el un set atent proiectat de canale de flux de gazSiC-caotatsusceptori planetari, care rafinează optimizarea dinamicii fluxului de gaz și uniformitatea termică pe suprafața plachetei pe tot parcursul procesului epitaxial. Acest design atent permite controlul precis asupra debitului și distribuției gazului în interiorul camerei de reacție, ceea ce este esențial pentru obținerea unor pelicule subțiri de înaltă calitate, grosime uniformă a stratului și performanță generală fiabilă a dispozitivului.

3. Curățenie ultra-înaltă

Susceptorii planetari acoperiți cu Semicorex SiC sunt fabricați cu materiale de puritate ultra-înaltă și niveluri de impurități extrem de scăzute, îndeplinind pe deplin cerințele stricte de curățenie ale fabricării semiconductoarelor. Ele minimizează eficient contaminarea plachetelor cauzată de degajarea metalelor, chiar și în condițiile de temperatură ridicată și corozive tipice proceselor epitaxiale.

4. Durată de viață de lungă durată

Controlul calității Semicorex începe cu selecția noastră riguroasă a materiilor prime. Susceptorii planetari acoperiți cu SiC sunt fabricați cu precizie din grafit de calitate semiconductoare și carbură de siliciu, oferind o rezistență excelentă la temperaturi ridicate și rezistență la coroziune, făcându-i să reziste perfect la condițiile de funcționare epitaxiale dificile de temperatură înaltă și foarte corozive. Cu aceste proprietăți excelente ale materialelor, susceptorii planetari acoperiți cu SiC Semicorex își pot menține performanța constantă și integritatea structurală și pot evita deteriorarea suprafeței și scăderea performanței în camerele de reacție cu temperaturi ridicate și coroziune ridicată, ceea ce prelungește mult durata de viață a susceptorilor planetari acoperiți cu SiC.