Barcă cu piedestal din silicon

Semicorex Silicon Pedestal Boat este un suport de napolitană ultra-curat care a fost proiectat cu o puritate și precizie ridicate pentru a susține procese semiconductoare la temperatură înaltă, cum ar fi oxidarea, difuzia și LPCVD (Depunerea de vapori chimici de joasă presiune). Acest suport de napolitană este fabricat din 9N (99,9999999%)silicon de înaltă puritatepentru a asigura o curățenie excepțională, coeficientul termic de stabilitate de expansiune și precizia mecanică pentru suportul plachetelor și controlul constant al procesului în medii ultra-curate.

Pe măsură ce geometriile dispozitivelor semiconductoare continuă să se micșoreze, nevoia de componente de manipulare a plachetelor ultra-curate și compatibile termic nu a fost niciodată atât de solicitată. Barca cu piedestal din silicon răspunde acestor cerințe cu o precizie dimensională ridicată și o puritate de neegalat pentru a fi utilizată în sistemele avansate de cuptoare care funcționează între 1100°C și 1250°C.

Structura bărcii din silicon poate fi personalizată pentru a satisface cerințele clienților, inclusiv forma barei de canelura, lungimea dintelui canelurii, forma, unghiul de înclinare și capacitatea totală de încărcare a plachetelor. Bărcile de siliciu la temperatură ridicată pot reduce în mod eficient daunele de contact ale plachetelor de siliciu, îmbunătățind randamentul procesului. Designul său de înaltă temperatură „turnuri fără alunecare” susține napolitane doar la vârful dintelui de susținere. În comparație cu carbura de siliciu, siliciul este relativ mai puțin dur, reducând daunele mecanice ale plachetelor, îmbunătățind astfel calitatea rețelei și reducând efectiv costurile de producție.

Barca cu soclu este disponibilă însiliciu monocristalin sau policristalinpentru a elimina riscurile de contaminare asociate materialelor fără siliciu. Platforma are aceeași compoziție chimică ca și napolitanele utilizate în mod activ, ceea ce minimizează reacțiile nedorite sau difuzia ionilor în timpul proceselor la temperaturi ridicate. Omogenitatea materialului reduce substanțial identitatea fizică a particulelor și a impurităților metalice pentru o calitate înaltă constantă a plachetelor și un randament ridicat al dispozitivului prin cicluri repetate de producție.

Barca cu piedestal din silicon Semicorex are fante pentru napolitane proiectate cu precizie, combinate cu structuri verticale de susținere, asigurând că napolitanele rămân perfect aliniate și distanțate în timpul ciclului de încălzire. Stabilitatea sa dimensională este remarcabilă, asigurând că ambarcațiunea cu piedestal nu se va deforma, nu se va îndoi sau nu se va deplasa la temperaturi extreme, oferind o bună distribuție a temperaturii și a gazului peste fiecare wafer. Această stabilitate dimensională are un efect imediat, pozitiv asupra uniformității grosimii filmului în timpul oxidării și difuziei și asigură un număr mai mic de defecte, precum și o repetabilitate mai bună a procesului.

Avantajul principal al bărcii cu piedestal din silicon sunt proprietățile sale mecanice și termice optimizate. Duritatea siliciului în comparație cu SiC sau cuarț va ajuta la scăderea micro-zgârieturilor și a generării de particule din cauza vibrației sau mișcării plachetei în timpul expansiunii încălzite. Acest lucru este valabil mai ales pentru plachetele sensibile la spate, unde integritatea suprafeței plachetei este esențială pentru randamentul și performanța dispozitivului.

Barca cu piedestal are o conductivitate termică bună și un coeficient scăzut de dilatare termică care oferă caracteristici de transfer de căldură, menținând în același timp forma și soliditatea structurală cu mai multe cicluri de încălzire și răcire. Designul robust asigură, de asemenea, o durată lungă de viață cu deformare minimă în condiții extreme ale cuptorului.

Semicorex oferă modele personalizate pentru o varietate de configurații de echipamente, inclusiv diametrul plăcilor, numărul de fante, înălțimea piedestalului și variațiile de geometrie. Fiecare produs este inspectat pentru puritate, măsurat dimensional și testat pentru conductivitate termică, totul pentru a îndeplini cele mai înalte standarde în procesul de fabricație a semiconductorilor.

Silicon Pedestal Boat este compatibil cu procesele de oxidare și difuzie, precum și cu LPCVD și aplicații de recoacere care necesită uniformitate de neegalat a temperaturii și control al contaminării.