Barcă cu napolitană de siliciu

Semicorex poate personaliza structura bărcii napolitane de siliciu, inclusiv forma tijei canelurii, lungimea dintelui canelurii, forma, unghiul de înclinare și capacitatea totală de încărcare a plachetelor și poate fi produsă în funcție de cerințele clientului. Bărcile de siliciu la temperatură ridicată pot reduce în mod eficient daunele de contact ale plăcilor de siliciu și pot îmbunătăți randamentul procesului. Designul său de înaltă temperatură „turnuri fără alunecare” susține napolitane doar la vârful dintelui de susținere. Comparativ cucarbură de siliciu, siliciul are o duritate relativ scăzută, ceea ce reduce deteriorarea mecanică a plachetelor, îmbunătățind astfel rata de trecere a rețelei și reducând efectiv costurile de producție. Barca din silicon topit este compusă din mai multe părți: dinți, placa de bază și placa superioară, care sunt topite împreună. Acest lucru reduce costurile de producție. În cazul unei deteriorări parțiale, piesele deteriorate pot fi înlocuite fără a înlocui întreaga barcă din silicon, reducând semnificativ costurile de proprietate în timpul utilizării. În plus, barca cu silicon are o limită superioară mare pentru depunerea de polisiliciu, care poate reduce în mod eficient frecvența echipamentelor PM și poate îmbunătăți capacitatea de producție.

Semicorex Silicon Wafer Boat este un suport de napolitană inovator, conceput special. Este creat special pentru prelucrarea cuptorului la temperatură înaltă utilizată în industria semiconductoarelor, inclusiv procesele de oxidare și reducere la temperaturi între 1200 și 1250 °C. Dispunând de beneficii de performanță care nu sunt disponibile în materialul cu carbură de siliciu (SiC), barca de silicon Wafer oferă avantaje relevante pentru procesele riguroase pe care le necesită fabricarea semiconductorilor. În primul rând, puritatea ultra-înaltă a materialului de siliciu este semnificativă; de fapt, celmaterial siliconicatinge niveluri de puritate ultra-înaltă de peste 9N (99,9999999%), asigurându-se astfel că nicio impurități metalice sau străine nu vor contamina procesarea plachetelor. Acest lucru este crucial pentru producția de dispozitive semiconductoare de vârf, unde fiabilitatea performanței și randamentul sunt puternic afectate de contaminare. Silicon Wafer Boat oferă un mediu ultra-curat, cu un nivel ridicat de puritate, potrivit pentru cele mai avansate cerințe ale industriei pentru manipularea napolitanelor expuse la temperaturi foarte ridicate pentru procesarea de oxidare și reducere.

Un alt beneficiu almaterial siliconiceste proprietățile sale de duritate mai scăzute în comparație cu materialul SiC. Barele sau bărcile SiC sunt cunoscute pentru duritate și rezistență, dar însăși proprietatea poate duce la dificultăți în timpul procesării napolitanelor. La temperaturi ridicate, napolitanele se vor micro-mișca; ele vor sări ușor, se vor deplasa ușor și vor deforma marginile în timp ce sunt în interiorul bărcii. Un material SiC mai dur poate prezenta riscuri mai mari de a genera particule sau zgârieturi pe partea din spate a plachetei, deoarece proprietățile napolitanei și bărcii interacționează în aceste condiții de procesare la temperatură ridicată.

Silicon Wafer Boat atenuează această îngrijorare profitând de caracterul relativ moale al siliciului în raport cu SiC. Reducerea durității permite mai puțină frecare și stres mecanic atunci când napolitanele intră în contact cu barca în timpul ciclurilor termice. Ca rezultat, particulele sunt generate mai rar, iar riscul de zgârieturi din spate este redus la aproape zero. În plus, reducând la minimum defectele de suprafață, napolitana de silicon îmbunătățește în mod direct calitatea rețelei și crește rata de calificare generală a napolitanelor prelucrate. Pentru fabricile de semiconductori care doresc să îmbunătățească randamentele cu un control maxim al calității, această stare de performanță face din barca cu silicon o opțiune atrăgătoare.

Siliciul oferă o bună stabilitate și rezistență mecanică la temperaturi ridicate, permițând ambarcațiunii să servească fiabil în timpul ciclurilor repetate ale cuptorului. Materialul rezistă la deformare în timpul ciclurilor de încălzire și răcire și, astfel, menține plasarea precisă a plachetei și toleranța de poziționare chiar și în timpul ciclurilor rapide ale cuptorului. Această robustețe termică oferă rezultate fiabile ale procesului, care sunt suficient de consistente pentru producția de volum mare, cu variații minime între serii. Barca de napolitană de silicon este construită cu o precizie dimensională ridicată pentru a asigura o poziționare și plasare consistentă a napolitanelor. Barca este fabricată folosind prelucrare avansată și lustruire pentru a crea suprafețe netede, geometrie apropiată și toleranțe strânse.