În calitate de producător profesionist, am dori să vă oferim componente semiconductoare. Semicorex este partenerul dumneavoastră pentru îmbunătățirea procesării semiconductoarelor. Acoperirile noastre cu carbură de siliciu sunt dense, rezistente la temperaturi ridicate și chimice, care sunt adesea folosite în întregul ciclu de fabricație a semiconductoarelor, inclusiv în procesarea plăcilor și a plăcilor de semiconductori și fabricarea semiconductoarelor.
Componentele acoperite cu SiC de înaltă puritate sunt cruciale pentru procesele din semiconductor. Oferta noastră variază de la consumabile de grafit pentru zonele fierbinți de creștere a cristalului (încălzitoare, creuzete susceptoare, izolație), până la componente de grafit de înaltă precizie pentru echipamentele de procesare a plachetelor, cum ar fi susceptori de grafit acoperiți cu carbură de siliciu pentru Epitaxy sau MOCVD.
Avantaje pentru procesele semiconductoare
Fazele de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxia sau MOCVD, sau procesarea de manipulare a plachetelor, cum ar fi gravarea sau implantul ionic, trebuie să suporte temperaturi ridicate și curățări chimice dure. Semicorex furnizează o construcție cu grafit acoperit cu carbură de siliciu (SiC) de înaltă puritate, care oferă rezistență superioară la căldură și rezistență chimică durabilă, chiar și uniformitate termică pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epidermic.
Capacele camerei →
Capacele camerelor utilizate în procesarea creșterii cristalelor și a manipulării napolitanelor trebuie să reziste la temperaturi ridicate și curățări chimice dure.
Efector final →
Efectorul final este mâna robotului care mută plăcile semiconductoare între pozițiile din echipamentele de procesare a plăcilor și suporturi.
Inele de admisie →
Inelul de admisie a gazului acoperit cu SiC de către echipamentul MOCVD Creșterea compusului are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o stabilitate mare în mediu extrem.
Inel de focalizare →
Semicorex furnizează inelul de focalizare acoperit cu carbură de siliciu este cu adevărat stabil pentru curățarea RTA, RTP sau cu substanțe chimice dure.
Mandrină pentru napolitană →
Mandrinele de vacuum ultraplate din ceramică Semicorex sunt acoperite cu SiC de înaltă puritate în procesul de manipulare a plachetelor.
Semicorex Silicon Pedestal Boat este un suport de napolitană de puritate ultra-înaltă 9N, proiectat pentru suport precis și stabil al napolitanelor în procesele de oxidare, difuzie și LPCVD la temperaturi înalte. Alegeți Semicorex pentru puritatea materialului de neegalat, prelucrare de precizie și fiabilitate dovedită*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex Silicon Injector este o componentă tubulară de puritate ultra-înaltă concepută pentru livrarea precisă și fără contaminare a gazului în procesele de depunere de polisiliciu LPCVD. Alegeți Semicorex pentru puritate, prelucrare de precizie și fiabilitate dovedită.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex Silicon Wafer Boat este un purtător de înaltă puritate conceput pentru cuptoare cu semiconductori la temperatură înaltă, susținând napolitane în timpul proceselor de oxidare și reducere la 1200–1250 °C. Semicorex oferă produse superioare, performanță ultra-curată și rezultate fiabile care măresc în mod direct randamentul dispozitivului.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex Silicon Shield Ring este o componentă de siliciu de înaltă puritate concepută pentru sisteme avansate de gravare cu plasmă, servind atât ca scut de protecție, cât și ca electrod auxiliar. Semicorex asigură performanță ultra-curată, stabilitate procesului și rezultate superioare de gravare cu componente semiconductoare proiectate cu precizie.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex SiC Ceramic Paddle este o componentă cantilever de înaltă puritate concepută pentru cuptoare cu semiconductori la temperatură înaltă, utilizată în principal în procesele de oxidare și difuzie. Alegerea Semicorex înseamnă obținerea accesului la soluții ceramice avansate care asigură stabilitate, curățenie și durabilitate excepționale pentru aplicațiile critice de manipulare a plachetelor.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăPiesele Halfmoon acoperite cu Semicorex SiC sunt componente proiectate cu precizie proiectate ca elemente esențiale ale echipamentului epitaxial, în care două secțiuni în formă de semi-lună se combină pentru a forma un ansamblu de miez complet. Alegerea Semicorex înseamnă asigurarea unor soluții fiabile, de înaltă puritate și durabile, care asigură un suport stabil al plachetelor și o conducere eficientă a căldurii pentru fabricarea avansată a semiconductorilor.*
Citeşte mai multTrimite o anchetă