Inele cu fante Poly-Si

Inelele cu fante Poly-Si sunt instalate în mod obișnuit în camera de reacție a echipamentelor avansate de gravare cu semiconductor. Acestea funcționează sinergic cu piesele din silicon, inclusiv cu siliciulinele de focalizare, inele exterioare din silicon și siliciucapete de duș. Aceste piese pot crea un mediu de reacție stabil și optim pentru procesul de gravare, asigurând o excelentăgravareprecizie si consistenta procesului.

Funcțiile inelelor cu fante Semicorex poly-Si

1. Inelele cu fante Semicorex poly-Si sunt echipate cu mai multe fante distribuite uniform care servesc drept pasaje de gaz, care permit evacuarea lină a gazelor de proces după reacție.

2. Inelele cu fante Semicorex poly-Si sunt capabile să realizeze un control excelent al plasmei, oferind protecție fiabilă pentru camera de reacție a echipamentelor de gravare a semiconductoarelor.

3. Inelele cu fante Semicorex poly-Si pot ajuta la reglarea câmpului electric și a presiunii din cameră, prevenind astfel instabilitatea să afecteze consistența procesului de gravare.

Selecție de materiale la standarde înalte

Inelele cu fante Semicorex poly-Si sunt fabricate din siliciu policristalin de înaltă calitate, cu un nivel de puritate de peste 99,9999%, ceea ce le conferă proprietăți superioare după cum urmează.

1. Puritate ultra-înaltă și conținut extrem de scăzut de impurități.

2. Rezistență excepțională la coroziune cu plasmă.

3. Proprietăți electrice favorabile, cu uniformitate de rezistență: RRG ≤ 5%, res. joasă. (<0,02), res. mijlocie. (1–4) și de înaltă rezoluție. (70–90).

Capacități de producție și control al calității

Echipat cu echipamente avansate de prelucrare și o echipă tehnică cu experiență, Semicorex controlează strict fiecare proces de producție și oferă clienților noștri valoroși inele poli-Si cu fante de înaltă calitate și bine adaptate. În plus, Semicorex efectuează un control strict asupra măsurătorilor dimensionale, testelor de rezistivitate și inspecției vizuale asupra inelelor cu fante din poli-Si finite pentru a se asigura că acestea nu prezintă defecte cum ar fi așchii, zgârieturi, fisuri și pete.