Grafitul de acoperire TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere în vapori chimici (CVD).
Carbura de tantal (TaC) este un compus care constă din tantal și carbon. Are conductivitate electrică metalică și un punct de topire excepțional de ridicat, ceea ce îl face un material ceramic refractar cunoscut pentru rezistența, duritatea și rezistența sa la căldură și uzură. Punctul de topire al carburilor de tantal atinge un vârf la aproximativ 3880°C, în funcție de puritate și are unul dintre cele mai înalte puncte de topire dintre compușii binari. Acest lucru îl face o alternativă atractivă atunci când cerințele de temperatură mai ridicate depășesc capacitățile de performanță utilizate în procesele epitaxiale semiconductoare compuși, cum ar fi MOCVD și LPE.
Datele materiale ale Semicorex TaC Coating
Proiecte |
Parametrii |
Densitate |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivitate |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Duritate (HK) |
2000 |
Rezistență (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitate termică |
<2500℃ |
Schimbarea dimensiunii grafitului |
-10~-20um (valoare de referință) |
Grosimea acoperirii |
≥20um valoare tipică (35um±10um) |
|
|
Cele de mai sus sunt valori tipice |
|
Semicorex TaC Coated Graphite Mandrina este o componentă de înaltă performanță concepută pentru manipularea precisă a plachetelor și procesele la temperatură înaltă în fabricarea semiconductoarelor. Alegeți Semicorex pentru produsele sale inovatoare și durabile, care asigură performanță optimă și longevitate în aplicațiile solicitante de semiconductori.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăInelul Semicorex TaC este o componentă de înaltă performanță concepută pentru creșterea monocristalului SiC, asigurând distribuția optimă a fluxului de gaz și controlul temperaturii. Alegeți Semicorex pentru experiența noastră în materiale avansate și inginerie de precizie, oferind soluții durabile și fiabile care sporesc eficiența și calitatea proceselor dumneavoastră de semiconductori.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex Tantalum Carbide Part este o componentă de grafit acoperită cu TaC, concepută pentru utilizare de înaltă performanță în aplicațiile de creștere a cristalelor cu carbură de siliciu (SiC), oferind o rezistență excelentă la temperatură și la substanțe chimice. Alegeți Semicorex pentru componente fiabile, de înaltă calitate, care sporesc calitatea cristalului și eficiența producției în producția de semiconductori.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăInelele din carbură de tantalu Semicorex sunt componente critice utilizate în procesele avansate de fabricare a semiconductoarelor. Cunoscuți pentru duritatea lor excepțională, punctul de topire ridicat și inerția chimică, La Semicorex, suntem dedicați să furnizăm produse care îndeplinesc cele mai înalte standarde de calitate și performanță, asigurându-ne că clienții noștri rămân în fruntea inovației în industria semiconductoarelor.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor este o tavă de grafit acoperită cu carbură de tantal, utilizată în creșterea epitaxială a carburii de siliciu pentru a îmbunătăți calitatea și performanța plachetelor. Alegeți Semicorex pentru tehnologia sa avansată de acoperire și soluțiile durabile care asigură rezultate superioare de epitaxie SiC și durată de viață extinsă a susceptorului.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăInelele de ghidare de acoperire TaC sunt inele de grafit cu un strat de carbură de tantal, concepute pentru a fi utilizate în cuptoarele de creștere a cristalelor cu carbură de siliciu pentru a îmbunătăți calitatea cristalului. Alegeți Semicorex pentru tehnologia sa avansată de acoperire, asigurând durabilitate superioară, stabilitate termică și performanță optimizată de creștere a cristalelor.*
Citeşte mai multTrimite o anchetă