Placă planetară acoperită cu TaC

Placa planetară acoperită cu Semicorex TaC servește ca o componentă cheie în reactoarele MOCVD, prezentând un design planetar caracterizat de numeroase buzunare de plachetă dispuse de-a lungul suprafeței sale. Aceste buzunare sunt create special pentru a găzdui în mod fiabil plachetele în timpul fazei de creștere a oricărui strat epitaxial, stabilizând plăcile de substrat și minimizând mișcarea substratului la temperaturi ridicate de proces. Geometria exactă a buzunarului asigură o plasare consistentă a plachetelor, care este importantă pentru grosimea uniformă a straturilor epitaxiale și nivelurile de uniformitate ale defectelor de substrat pentru toate plachetele crescute în timpul aceluiași proces.

Un aspect important de proiectare al plăcii planetare, încă o dată, este dispersia proiectată a găurilor fine de curgere a gazului de-a lungul suprafeței plăcii. Aceste găuri sunt proiectate cu atenție și poziționate strategic special pentru a măsura fluxul de gaze precursoare în reactor, astfel încât se realizează o dispersie uniformă a gazului și o depunere uniformă între fiecare placă. În orice proces MOCVD, aspectele dinamicii gazelor sunt critice în determinarea calităților filmului, uniformității grosimii și performanței generale a dispozitivului. Designul optimizat al găurii peTaC acoperitPlanetary Plate asigură că toate napolitanele experimentează aceleași condiții de proces, ceea ce oferă o modalitate optimă de a îmbunătăți randamentul și reproductibilitatea.

TheAcoperire cu TaC (carbură de tantal).extinde și mai mult performanța și durata de viață a plăcii planetare. Carbura de tantal este extrem de dura, inertă din punct de vedere chimic și conductoare termic, ceea ce o face o acoperire excelentă pentru mediile MOCVD extreme. În timpul epitaxiei, componentele din reactor se vor confrunta cu temperaturi ridicate, gaze precursoare reactive și expunere la plasmă. Acoperirea TaC servește ca o barieră robustă la coroziune, oxidare și generarea de particule pentru a avea ca rezultat o extindere semnificativă a duratei de viață a plăcii planetare decât o placă neacoperită sau acoperită în mod convențional.

Longevitatea și durabilitatea plăcii planetare acoperite cu TaC fac din aceasta o alegere rentabilă pentru sistemele MOCVD. Stratul durabil de TaC poate rezista la cicluri termice repetate și la expunerea la gaze extreme de proces, menținând în același timp integritatea structurală și stabilitatea performanței în timp ce funcționează pe perioade de timp extinse.