Grafitul de acoperire TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere în vapori chimici (CVD).
Carbura de tantal (TaC) este un compus care constă din tantal și carbon. Are conductivitate electrică metalică și un punct de topire excepțional de ridicat, ceea ce îl face un material ceramic refractar cunoscut pentru rezistența, duritatea și rezistența sa la căldură și uzură. Punctul de topire al carburilor de tantal atinge un vârf la aproximativ 3880°C, în funcție de puritate și are unul dintre cele mai înalte puncte de topire dintre compușii binari. Acest lucru îl face o alternativă atractivă atunci când cerințele de temperatură mai ridicate depășesc capacitățile de performanță utilizate în procesele epitaxiale semiconductoare compuși, cum ar fi MOCVD și LPE.
Datele materiale ale Semicorex TaC Coating
Proiecte |
Parametrii |
Densitate |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivitate |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Duritate (HK) |
2000 |
Rezistență (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitate termică |
<2500℃ |
Schimbarea dimensiunii grafitului |
-10~-20um (valoare de referință) |
Grosimea acoperirii |
≥20um valoare tipică (35um±10um) |
|
|
Cele de mai sus sunt valori tipice |
|
Tubul acoperit Semicorex TaC reprezintă un vârf al științei materialelor, conceput pentru a rezista la condițiile extreme întâlnite în fabricarea avansată a semiconductorilor. Creat prin aplicarea unui strat dens și uniform de TaC pe un substrat izotrop de grafit de înaltă puritate prin depunere chimică în vapori (CVD), tubul acoperit cu TaC oferă o combinație convingătoare de proprietăți care depășesc materialele convenționale în medii solicitante la temperatură înaltă și agresive din punct de vedere chimic. **
Citeşte mai multTrimite o anchetăHalfmoon acoperit cu Semicorex TaC oferă avantaje convingătoare în creșterea epitaxială a carburii de siliciu (SiC) pentru electronice de putere și aplicații RF. Această combinație de materiale abordează provocările critice ale epitaxiei SiC, permițând o calitate mai bună a plachetelor, o eficiență îmbunătățită a procesului și costuri de producție reduse. Noi, cei de la Semicorex, suntem dedicați producției și furnizării Halfmoon acoperite cu TaC de înaltă performanță, care îmbină calitatea cu eficiența costurilor.**
Citeşte mai multTrimite o anchetăInelul de etanșare acoperit cu Semicorex TaC aplicat componentelor de etanșare oferă avantaje excepționale de performanță în mediile solicitante ale fabricării semiconductoarelor. Acoperirea TaC abordează provocările critice legate de rezistența chimică, temperaturile extreme și uzura mecanică, permițând randamente mai mari ale procesului, timp de funcționare crescut al echipamentului și, în cele din urmă, costuri de producție mai mici. Noi, cei de la Semicorex, suntem dedicați producției și furnizării inelului de etanșare acoperit cu TaC de înaltă performanță, care îmbină calitatea cu eficiența costurilor.**
Citeşte mai multTrimite o anchetăSusceptorul acoperit cu carbură de tantal Semicorex este o componentă critică, jucând un rol esențial în procesele de depunere, esențiale pentru crearea plachetelor semiconductoare. Semicorex se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China*.
Citeşte mai multTrimite o anchetăMandrina din carbură de tantalu Semicorex este o componentă avansată utilizată în echipamentele de fabricare a semiconductoarelor, renumită pentru proprietățile sale termice și mecanice excepționale. Semicorex se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China*.
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex TaC Coated Ring este o componentă critică care îndeplinește aceste cerințe exigente. Semicorex se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China*.
Citeşte mai multTrimite o anchetă