Inele de ghidare acoperite cu carbură de tantal

Inelele de ghidare sunt instalate de obicei deasupra creuzetului de grafit în cadrul sistemului de câmp termic. Acestea funcționează împreună cu creuzetul, încălzitorul și cilindrul de izolare termică și alte componente semiconductoare pentru a ghida și controla distribuția căldurii și a gazelor de proces.

Aavantajede TAcoperire cu carbură de antal

Renumit pentru performanța superioară aAcoperire TaCîn aplicațiile de creștere cu un singur cristal de semiconductor de a treia generație, acoperirea cu carbură de tantal oferă următoarele avantaje:

1. Stabilitate termică excepțională

Carbura de tantal are o rezistență termică superbă, cu un punct de topire ultra-înalt de 3880℃. Dispunând de această stabilitate termică excepțională, inelele de ghidare acoperite cu carbură de tantal Semicorex pot fi utilizate stabil în medii cu temperaturi ridicate sub 2500℃. În plus, combinația acestor două materiale minimizează riscurile de fisurare și decojire a acoperirii cauzate de schimbările de temperatură, ceea ce permite în mod semnificativ integritatea structurală a componentei în timpul proceselor repetate de încălzire și răcire.

2. Rezistență remarcabilă la coroziune

Carbura de tantal are o rezistență remarcabilă la coroziune și la oxidare și este inertă din punct de vedere chimic la majoritatea gazelor reactive, cum ar fi amoniacul, hidrogenul și siliciul. Datorită acestei stabilități chimice, inelele de ghidare acoperite cu carbură de tantal Semicorex previn eficient gazele reactive să erodeze matricea și să le afecteze integritatea structurală, evitând totodată riscul de contaminare cu reactanții și impuritățile care pătrund în structura cristalină.

Performanța inelelor de ghidare acoperite cu carbură de tantal Semicorex

Semicorexinele de ghidare acoperite cu carbură de tantalutilizați grafit de înaltă puritate ca matrice și depuneți stratul de TaC pe suprafață prin tehnologia CVD. Combinația dintre aceste două materiale permite ca inelele de ghidare acoperite cu carbură de tantal Semicorex să ofere următoarele avantaje:

1. Ghidarea fluxului de gaz și optimizarea câmpului de curgere

În timpul creșterii cristalelor, utilizarea inelelor de ghidare ajută la optimizarea distribuției fluxului în câmpul termic și direcționează gazele reactive către o direcție controlabilă a fluxului și o distribuție uniformă. Datorită designului lor structural special, inelele de ghidare acoperite cu carbură de tantal Semicorex pot ghida gazul să curgă și să se distribuie uniform, ceea ce evită în mod eficient concentrațiile locale de gaz excesiv de mari sau scăzute.

2. Reglarea temperaturii și optimizarea câmpului termic

Inelele de ghidare acoperite cu carbură de tantal Semicorex prezintă o conductivitate termică superioară, jucând un rol crucial în a ajuta la reglarea distribuției temperaturii și pentru a oferi un câmp de temperatură stabil pentru creșterea cristalelor. De exemplu, inelele de ghidare acoperite cu carbură de tantal Semicorex pot ajuta la menținerea gradientului de temperatură în creșterea PVT a cristalelor de carbură de siliciu, asigurând că materialele se descompun, transportă și cristalizează în condiții adecvate.