Semicorex este partenerul dumneavoastră pentru îmbunătățirea procesării semiconductoarelor. Acoperirile noastre cu carbură de siliciu sunt dense, rezistente la temperaturi ridicate și chimice, care sunt adesea folosite în întregul ciclu de fabricație a semiconductoarelor, inclusiv procesarea plachetelor și plăcilor de semiconductori și fabricarea semiconductoarelor.
Componentele ceramice SiC de înaltă puritate sunt cruciale pentru procesele din semiconductor. Oferta noastră variază de la piese consumabile pentru echipamentele de procesare a napolitanelor, cum ar fi napolitană cu carbură de siliciu, palete cantilever, tuburi etc. pentru Epitaxy sau MOCVD.
Avantaje pentru procesele semiconductoare
Fazele de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxia sau MOCVD, sau procesarea de manipulare a plachetelor, cum ar fi gravarea sau implantul ionic, trebuie să suporte temperaturi ridicate și curățări chimice dure. Semicorex furnizează o construcție cu carbură de siliciu de înaltă puritate (SiC) care oferă rezistență superioară la căldură și rezistență chimică durabilă, chiar și uniformitate termică pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epidermic.
Capacele camerei →
Capacele camerelor utilizate în procesarea creșterii cristalelor și a manipulării napolitanelor trebuie să reziste la temperaturi ridicate și curățări chimice dure.
Vâslă cantilever →
Cantilever Paddle este o componentă crucială utilizată în procesele de fabricație a semiconductoarelor, în special în cuptoarele de difuzie sau LPCVD în timpul proceselor precum difuzia și RTP.
Tub de proces →
Tubul de proces este o componentă crucială, proiectată special în diverse aplicații de procesare a semiconductoarelor, cum ar fi RTP, difuzie.
Barci cu napolitană →
Wafer Boat este folosită în procesarea semiconductoarelor, a fost proiectată meticulos pentru a se asigura că napolitanele delicate sunt păstrate în siguranță în etapele critice ale producției.
Inele de admisie →
Inelul de admisie a gazului acoperit cu SiC de către echipamentele MOCVD Creșterea compusului are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o stabilitate mare în mediul extrem.
Inel de focalizare →
Semicorex furnizează inelul de focalizare acoperit cu carbură de siliciu este cu adevărat stabil pentru curățarea RTA, RTP sau cu substanțe chimice dure.
Mandrină pentru napolitană →
Mandrinele de vacuum ultraplate din ceramică Semicorex sunt acoperite cu SiC de înaltă puritate în procesul de manipulare a plachetelor.
Semicorex are, de asemenea, produse ceramice din Alumină (Al2O3), Nitrură de Siliciu (Si3N4), Nitrură de Aluminiu (AIN), Zirconiu (ZrO2), Ceramică Compozită etc.
Muchurile de vid semicorex SIC sunt elemente ceramice de înaltă performanță concepute pentru adsorbția securizată a waferului la fabricarea semiconductorilor. Cu proprietăți termice, mecanice și chimice superioare, asigură stabilitatea și precizia în mediile de proces solicitante.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăÎncălzitoarele compozite PBN Semicorex sunt elemente de încălzire avansate, proiectate pentru medii de vid cu temperatură ridicată, ultra-curățată, utilizate pe scară largă în industrii semiconductoare, optoelectronice și cercetări materiale. Alegeți semicorex pentru expertiză lider în industrie, personalizare a lotului mic și calitate de clasă mondială în soluții de încălzire PBN.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăPaletele de cantilever semicorex SIC sunt palete de cantilever de carbură de siliciu de înaltă performanță utilizate în echipamente de procesare termică cu semiconductor, proiectate pentru o manevrare stabilă a waferului în medii la temperaturi înalte. Alegerea semicorexului înseamnă alegerea materialelor de înaltă puritate, stabilitatea termică excelentă și tehnologia de fabricație de precizie lider în industrie pentru a vă asigura că fiecare proces critic al tău este stabil și fiabil.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăDeținătorii de bărci cu semicorex SIC sunt componente structurale esențiale care asigură poziționarea precisă și fiabilă a plafonului în procesarea termică semiconductor. Alegeți semicorex pentru o calitate neegalată, expertiză tehnică și un angajament de a promova soluții SIC de înaltă puritate în fabricarea semiconductorilor.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăBarcile cu placi cu semicorex sunt purtători de ceramici proiectați cu precizie, proiectați pentru procesarea plafonului la temperaturi ridicate la fabricarea semiconductorilor. Alegeți semicorex pentru puritatea materialului său de neegalat, tehnologia avansată de fabricație și angajamentul față de calitate care asigură performanțe consistente în cele mai solicitante medii cu curat.*
Citeşte mai multTrimite o anchetăTuburile SIC semicorex sunt tuburi cuptor cu carbură de siliciu proiectate pentru procese cu temperaturi înalte cu semiconductor, cu o stabilitate termică excelentă și o rezistență la coroziune chimică. Alegerea materiilor prime de înaltă puritate semicorex, procese de fabricație de precizie și garanții de fiabilitate pe termen lung pentru a oferi sprijin solid pentru procesul dvs. de fabricație semiconductor.*
Citeşte mai multTrimite o anchetă