Tuburi pentru cuptor acoperite cu SiC CVD

Semicorex CVD acoperit cu SiCtuburi de cuptorsunt tuburi de proces cu diametru mare care asigură o cameră de reacție stabilă pentru tratarea la temperatură înaltă a plachetelor semiconductoare. Acestea sunt făcute să funcționeze în atmosfere care conțin oxigen (gaz reactant), azot (gaz de protecție) și cantități mici de acid clorhidric, cu o temperatură stabilă de funcționare de aproximativ 1250 de grade Celsius.

Avantajele tuburilor de cuptor acoperite cu Semicorex CVD SiC

1. Tehnologie avansată de turnare și personalizare flexibilă de fabricație

Format prin tehnologia de imprimare 3D, SemicorexCVD SiCTuburile de cuptor acoperite au o structură ceramică integrală fără sudură, fără zone slabe. Această tehnologie de turnare garantează o etanșare excepțională la gaz, care previne eficient contaminanții externi și menține temperatura, presiunea și mediile atmosferice necesare pentru prelucrarea plachetelor semiconductoare.

În plus, tehnologia de imprimare 3D sprijină, de asemenea, producția de forme complexe și controlul dimensional precis. Producția personalizată este disponibilă pentru diametru, lungime, grosime a peretelui și toleranțe în funcție de diferite cerințe pentru a asigura compatibilitatea deplină cu cuptoarele verticale sau orizontale ale clienților.

2. Selectarea meticuloasă a materialelor și controlul curățeniei

Tuburile de cuptor acoperite cu Semicorex CVD SiC sunt fabricate din material de înaltă puritate, de calitate semiconductoare atent selectat. Conținutul de impurități al matricei lor este controlat sub 300 PPM, iar conținutul de impurități al acoperirii CVD SiC este limitat la mai puțin de 5 PPM. Acest control strict al purității reduce semnificativ contaminarea plachetelor cauzată de precipitarea impurităților metalice în condiții de funcționare la temperatură înaltă, ceea ce îmbunătățește foarte mult randamentul și performanța dispozitivelor semiconductoare finale. În plus, utilizarea acoperirii CVD SiC îmbunătățește rezistența la temperatură înaltă, rezistența la coroziune chimică și stabilitatea termică a tuburilor de cuptor acoperite cu Semicorex CVD SiC, prelungind astfel foarte mult durata de viață a acestora în condiții dure de funcționare.

Cu atât de multe avantaje, tuburile de cuptor acoperite cu Semicorex CVD SiC sunt capabile să ofere un spațiu de reacție stabil, adecvat și ultra-curat pentru prelucrarea plachetelor semiconductoare. Distribuția constantă a temperaturii și atmosfera constantă de gaz în interiorul cuptoarelor, făcute posibile de tuburile de cuptoare acoperite cu Semicorex CVD SiC, ajută la obținerea unei difuzii mai precise de dopaj, oxidare termică, recoacere și depunere de peliculă subțire.