Tuburi de proces SiC

Tuburile de proces Semicorex SiC sunt componentele structurale importante în procesul de oxidare, difuzie, RTA/RTP în procesul de fabricație a semiconductorilor. În general, este un tub cu diametru mare ca spațiu de cuptor cu reactor, toate procesele chimice vor avea loc în interior. Deci, puterea, rezistența la șocuri termice sunt ambele puncte de bază pentru produs.

Tuburile de proces SiC sunt realizate decarbură de siliciu sinterizată, poate fi SiSiC, SSiC sau RSiC și acoperirea CVD SiC pe suprafață, care va forma un strat de puritate ultra-înaltă. Poate preveni poluarea cu particule, cenușă etc. Iar materialul are o rezistență foarte mare la șocuri termice, astfel încât tuburile de proces SiC pot rămâne stabile la rezistență la temperaturi ridicate și pot împiedica precipitarea impurităților la temperaturi ridicate și astfel poluând mediul.

Aceste tuburi de proces SiC sunt concepute pentru a fi utilizate în atmosfere cu gaz reactiv (oxigen), gaz de protecție (azot) și cantități minime de gaz clorhidric și oferă o rezistență chimică remarcabilă, stabilitate termică și puritate a materialului până la 1250°C. Tuburile de proces Semicorex SiC combină producția de imprimare 3D de ultimă generație cu acoperirea prin depunere chimică de vapori (CVD) pentru a oferi performanțe superioare și durată de viață în cele mai extreme condiții termice și chimice.

Tuburile de proces Semicorex SiC sunt produse printr-un proces de turnare integrat prin imprimare 3D, mai degrabă decât printr-un tub convențional format sau asamblat prin presare. Acest proces de fabricație permite o structură continuă, consistentă a ceramicii, fără îmbinări și zone slabe, creând un grad ridicat de complexitate și fidelitate dimensională, care poate atenua concentrațiile de tensiuni sporind în același timp rezistența mecanică. Mai mult, structura monolitică asigură o etanșare etanșă la gaze naturale, reducând contaminarea și scurgerile în timpul proceselor la temperatură înaltă.

TheSical corpului este un material cu impurități ultra scăzute (< 300 ppm), oferind o puritate și stabilitate excelentă a materialului pentru atmosferele reactive. În plus, tubul este acoperit cu un strat de carbură de siliciu CVD (< 5 ppm) pentru a îmbunătăți rezistența la coroziune și protecția suprafeței.

Semicorex oferă serviciul personalizat, putem produce conform desenelor clienților, pentru a îndeplini cerințele specificate. Prin urmare, tuburile de proces Semicorex SiC pot fi potrivite alternativ nu numai pentru cuptorul orizontal, ci și pentru cuptoarele verticale.