Placă de transport RTP din grafit SiC pentru MOCVD

Semicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate pentru MOCVD oferă rezistență superioară la căldură și uniformitate termică, făcându-l soluția perfectă pentru aplicațiile de procesare a plachetelor semiconductoare. Cu un grafit acoperit cu SiC de înaltă calitate, acest produs este conceput pentru a rezista celui mai dur mediu de depunere pentru creșterea epitaxială. Conductivitatea termică ridicată și proprietățile excelente de distribuție a căldurii asigură performanțe fiabile pentru curățarea RTA, RTP sau cu substanțe chimice dure.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Placa noastră de transport RTP din grafit SiC pentru MOCVD pentru MOCVD Epitaxial Growth este soluția perfectă pentru manipularea plachetelor și procesarea creșterii epitaxiale. Cu o suprafață netedă și o durabilitate ridicată împotriva curățării chimice, acest produs asigură performanțe fiabile în medii dure de depunere.
Materialul plăcii noastre suport RTP din grafit SiC pentru MOCVD este proiectat pentru a preveni fisurile și delaminarea, în timp ce rezistența superioară la căldură și uniformitatea termică asigură performanțe consistente pentru curățarea RTA, RTP sau cu substanțe chimice dure.
Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre placa noastră de transport RTP din grafit SiC pentru MOCVD.

Parametrii plăcii de transport RTP din grafit SiC pentru MOCVD

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitate termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristici ale plăcii de transport RTP din grafit SiC pentru MOCVD

Grafit acoperit cu SiC de înaltă puritate
Rezistență superioară la căldură și uniformitate termică
Acoperit cu cristal fin de SiC pentru o suprafață netedă
Durabilitate ridicată împotriva curățării chimice
Materialul este proiectat astfel încât să nu apară fisuri și delaminare.