RTP RTA SiC Coated Carrier

Semicorex este un producător și furnizor pe scară largă de susceptor de grafit acoperit cu carbură de siliciu în China. Susceptor de grafit Semicorex conceput special pentru echipamente de epitaxie cu rezistență ridicată la căldură și coroziune în China. Transportatorul nostru RTP RTA SiC Coated are un avantaj bun de preț și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul tău pe termen lung.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Semicorex furnizează RTP RTA SiC Coated Carrier utilizat pentru a susține napolitane, care este cu adevărat stabil pentru RTA, RTP sau curățarea chimică puternică. RTP RTA SiC Coated Carrier cu construcție cu grafit acoperit cu carbură de siliciu (SiC) de înaltă puritate oferă rezistență superioară la căldură, uniformitate termică uniformă pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epi și rezistență chimică durabilă. Acoperirea cu cristale de SiC fin oferă o suprafață curată, netedă, critică pentru manipulare, deoarece napolitanele curate intră în contact cu susceptorul în multe puncte de pe întreaga lor zonă.
La Semicorex, ne concentrăm pe furnizarea de RTP RTA SiC Coated Carrier de înaltă calitate și rentabil, acordăm prioritate satisfacției clienților și oferim soluții rentabile. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung, oferind produse de înaltă calitate și servicii excepționale pentru clienți.

Parametrii RTP RTA SiC Coated Carrier

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitatea termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristici RTP RTA SiC Coated Carrier

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o densitate bună și pot juca un rol protector bun în medii de lucru cu temperaturi ridicate și corozive.
- Susceptorul acoperit cu carbură de siliciu utilizat pentru creșterea unui singur cristal are o planeitate foarte mare a suprafeței.
- Reduceți diferența de coeficient de dilatare termică dintre substratul de grafit și stratul de carbură de siliciu, îmbunătățiți în mod eficient rezistența de lipire pentru a preveni fisurarea și delaminarea.
- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.
- Punct de topire ridicat, rezistență la oxidare la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune.