Purtător RTP pentru creșterea epitaxială MOCVD

Semicorex RTP Carrier pentru MOCVD Epitaxial Growth este ideal pentru aplicațiile de procesare a plachetelor semiconductoare, inclusiv procesarea de creștere epitaxială și de manipulare a plachetelor. Suceptorii din grafit de carbon și creuzetele de cuarț sunt prelucrate de MOCVD pe suprafața grafitului, ceramicii etc. Produsele noastre au un avantaj de preț bun și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Semicorex furnizează RTP Carrier pentru MOCVD Epitaxial Growth utilizat pentru a susține napolitane, care este cu adevărat stabil pentru RTA, RTP sau curățarea chimică dure. În centrul procesului, susceptorii epitaxiei sunt mai întâi supuși mediului de depunere, astfel încât are rezistență ridicată la căldură și coroziune. Purtătorul acoperit cu SiC are, de asemenea, o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.
Purtătorul nostru RTP pentru creșterea epitaxială MOCVD este proiectat pentru a obține cel mai bun model de flux laminar de gaz, asigurând uniformitatea profilului termic. Acest lucru ajută la prevenirea oricărei contaminări sau difuzarea impurităților, asigurând creșterea epitaxială de înaltă calitate pe cipul de napolitană.
Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre purtătorul nostru RTP pentru creșterea epitaxială MOCVD.

Parametrii purtătorului RTP pentru creșterea epitaxială MOCVD

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structura de cristal	faza FCC β
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Dimensiunea boabelor	μm	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitatea termică	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT în 4 puncte)	415
Modulul tinerilor	Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristicile RTP Carrier pentru MOCVD Epitaxial Growth

Grafit acoperit cu SiC de înaltă puritate
Rezistență superioară la căldură și uniformitate termică
Acoperit cu cristal fin de SiC pentru o suprafață netedă
Durabilitate ridicată împotriva curățării chimice
Materialul este proiectat astfel încât să nu apară fisuri și delaminare.