Susceptor de grafit cu acoperire SiC

Susceptorul de grafit Semicorex cu acoperire SiC este o componentă esențială concepută pentru procesele de epitaxie cu siliciu în unități de materiale aplicate și LPE (Epitaxie în fază lichidă). Fabricat din material grafit de înaltă calitate acoperit cu carbură de siliciu (SiC), acest susceptor asigură performanțe superioare și longevitate în mediile de producție a semiconductorilor. Semicorex se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Acoperirea SiC de pe susceptorul de grafit cu acoperire SiC servește mai multor scopuri. În primul rând, oferă o stabilitate termică îmbunătățită, permițând controlul precis asupra gradienților de temperatură în timpul proceselor de creștere epitaxiale. Această stabilitate este crucială pentru obținerea unor straturi de siliciu uniforme și de înaltă calitate în plăcile semiconductoare. Acoperirea SiC pe susceptor de grafit cu acoperire SiC oferă o rezistență excelentă la coroziune chimică și șoc termic, salvând integritatea susceptorului chiar și în condiții de proces solicitante. Această durabilitate se traduce printr-o durată de viață operațională extinsă și un timp de nefuncționare redus, contribuind în cele din urmă la o productivitate mai mare și eficiență a costurilor pentru instalațiile de fabricare a semiconductoarelor.

Designul cilindrului susceptorului de grafit cu acoperire SiC facilitează încărcarea și descărcarea eficientă a plachetelor, optimizând debitul în procesele de epitaxie. În plus, susceptorul de grafit cu acoperire SiC este un produs personalizat și poate fi adaptat pentru a îndeplini cerințele și preferințele specifice ale producătorilor de semiconductori, asigurând compatibilitatea cu diferite configurații de echipamente și parametri de proces.