Perfecte pentru litografie de ultimă generație și aplicații de manipulare a plachetelor, componentele ceramice ultrapure Semicorex asigură o contaminare minimă și oferă o durată de viață excepțional de lungă. Mandrina noastră pentru vacuum pentru napolitană are un avantaj de preț bun și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Mandrina de vid pentru napolitană ultraplată Semicorex este acoperită cu SiC de înaltă puritate, utilizată în procesul de manipulare a plachetelor. Semiconductor Wafer Vacuum Chuck de echipamente MOCVD Creșterea compusului are rezistență ridicată la căldură și coroziune, care are o stabilitate mare în medii extreme și îmbunătățește managementul randamentului pentru procesarea plăcilor semiconductoare. Configurațiile cu contact cu suprafața scăzută minimizează riscul de particule din spate pentru aplicații sensibile.
La Semicorex, ne concentrăm pe furnizarea de mandrine pentru vacuum Wafer de înaltă calitate, rentabile, acordăm prioritate satisfacției clienților și oferim soluții rentabile. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung, oferind produse de înaltă calitate și servicii excepționale pentru clienți.
Parametrii mandrinei cu vid pentru napolitane
Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC |
||
Proprietăți SiC-CVD |
||
Structură cristalină |
faza FCC ² |
|
Densitate |
g/cm³ |
3.21 |
Duritate |
Duritatea Vickers |
2500 |
Marimea unui bob |
μm |
2~10 |
Puritatea chimică |
% |
99.99995 |
Capacitatea termică |
J·kg-1·K-1 |
640 |
Temperatura de sublimare |
℃ |
2700 |
Forța felexurală |
MPa (RT 4 puncte) |
415 |
Modulul Young |
Gpa (îndoire 4 pt, 1300â) |
430 |
Expansiune termică (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivitate termică |
(W/mK) |
300 |
Caracteristici ale mandrinei cu vacuum pentru napolitane
â Capabilitati ultra-plate
â Lustruire în oglindă
â Greutate ușoară excepțională
â Rigiditate ridicată
â Expansiune termică scăzută
â Φ 300 mm diametru și mai mult
â Rezistență extremă la uzură