Semicorex este un producător și furnizor pe scară largă de susceptor de grafit acoperit cu carbură de siliciu în China. Ne concentrăm pe industriile semiconductoare, cum ar fi straturile de carbură de siliciu și semiconductorul de epitaxie. Încălzitorul nostru cu proces de napolitană are un avantaj de preț bun și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul tău pe termen lung.
Semicorex Wafer Process Heater este fabricat din grafit de acoperire cu carbură de siliciu (SiC), acoperirea este aplicată printr-o metodă CVD pe grade specifice de grafit de înaltă densitate, astfel încât să poată funcționa în cuptorul de înaltă temperatură cu peste 3000 °C într-o atmosferă inertă, 2200°C în vid.
Proprietățile speciale și masa scăzută a materialului Wafer Process Heater permit viteze rapide de încălzire, distribuție uniformă a temperaturii și o precizie remarcabilă în control. În comparație cu alte materiale, suprafața carburei de siliciu rămâne plată datorită expansiunii sale termice scăzute, chiar și atunci când este operată cu schimbări rapide de temperatură. Plăcile fierbinți sunt foarte potrivite pentru procesele solicitante din sistemele de procesare a semiconductoarelor.
La Semicorex, ne concentrăm pe furnizarea de produse de înaltă calitate, rentabile clienților noștri. Încălzitorul nostru cu proces de napolitană are un avantaj de preț și este exportat pe multe piețe europene și americane. Ne propunem să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung, oferind produse de calitate consistentă și servicii excepționale pentru clienți.
Parametrii încălzitorului de proces de napolitană
Specificatii tehnice |
VET-M3 |
Densitate în vrac (g/cm3) |
≥1,85 |
Conținut de cenușă (PPM) |
≤500 |
Duritate Shore |
≥45 |
Rezistență specifică (μ.Ω.m) |
≤12 |
Rezistența la încovoiere (Mpa) |
≥40 |
Rezistența la compresiune (Mpa) |
≥70 |
Max. Dimensiunea granulației (μm) |
≤43 |
Coeficientul de dilatare termică Mm/°C |
≤4,4*10-6 |
Caracteristici ale încălzitorului de proces de napolitană
- Acoperiri CVD SiC pentru a îmbunătăți durata de viață.
- Rezistența la temperaturi ridicate, rezistența la coroziune, durata de viață lungă, poate îmbunătăți calitatea și randamentul napolitanelor.
- Are un coeficient de dilatare termică extrem de scăzut, rezistență la temperaturi ridicate, rezistență ridicată la uzură, izolație bună, stabilitate chimică bună și pătrunderea luminii vizibile aproape violet (roșu).
Putem oferi creuzet din grafit antioxidare și durată lungă de viață, matriță din grafit și toate părțile încălzitorului din grafit.