Semicorex este partenerul dvs. pentru componente și ansambluri avansate din grafit pentru a susține un randament mai mare și randamente mai bune în echipamentele dvs. de procesare a semiconductoarelor. Experții noștri în materiale sunt gata să colaboreze cu dvs. pentru a dezvolta soluția optimă potrivită pentru cerințele dvs. de manipulare, încălzire și procesare a napolitanelor. Efectorul nostru de capăt ceramic are un avantaj de preț bun și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Ceramic End Effector este mâna robotului care mută plăcile semiconductoare între pozițiile din echipamentele de procesare a plăcilor și suporturi. Efectorul final trebuie să fie precis dimensional și stabil din punct de vedere termic, având în același timp o suprafață netedă, rezistentă la abraziune, pentru a manipula în siguranță napolitanele fără a deteriora dispozitivele sau a produce contaminare cu particule. Efectorul nostru de capăt ceramic cu carbură de siliciu de înaltă puritate oferă rezistență superioară la căldură, uniformitate termică uniformă pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epi și rezistență chimică durabilă.
La Semicorex, ne concentrăm pe furnizarea de efecte ceramice de înaltă calitate, rentabile, acordăm prioritate satisfacției clienților și oferim soluții rentabile. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung, oferind produse de înaltă calitate și servicii excepționale pentru clienți.
Parametrii efectorului de capăt ceramic
Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC |
||
Proprietăți SiC-CVD |
||
Structura de cristal |
faza FCC β |
|
Densitate |
g/cm³ |
3.21 |
Duritate |
Duritatea Vickers |
2500 |
Dimensiunea boabelor |
μm |
2~10 |
Puritatea chimică |
% |
99.99995 |
Capacitatea termică |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura de sublimare |
℃ |
2700 |
Forța felexurală |
MPa (RT în 4 puncte) |
415 |
Modulul tinerilor |
Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃) |
430 |
Expansiune termică (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivitate termică |
(W/mK) |
300 |
Caracteristici ale efectorului final ceramic de înaltă puritate
● Grafit acoperit cu SiC de înaltă puritate
● Rezistență superioară la căldură și uniformitate termică
● Acoperit cu cristal fin de SiC pentru o suprafață netedă
● Durabilitate ridicată împotriva curățării chimice
● Materialul este proiectat astfel încât să nu apară fisuri și delaminare.