Tavă de transport pentru napolitane

Semicorex oferă ceramică de calitate semiconductoare pentru uneltele dvs. OEM de semifabricare și componentele de manipulare a plachetelor, concentrându-se pe straturile de carbură de siliciu din industriile semiconductoarelor. Suntem producători și furnizori de tăvi de transport pentru napolitane de mulți ani. Tava noastră de transport pentru napolitane are un avantaj de preț bun și acoperă majoritatea piețelor europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Nu numai pentru fazele de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxie sau MOCVD, sau procesarea de manipulare a plachetelor, Semicorex furnizează suport ceramic ultrapur utilizat pentru susținerea plachetelor. În centrul procesului, tava de transport pentru napolitană pentru MOCVD, sunt mai întâi supuse mediului de depunere, astfel încât are rezistență ridicată la căldură și coroziune. Purtătorul acoperit cu SiC are, de asemenea, o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.
Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre tava noastră de transport pentru napolitane.

Parametrii tăvii de transport pentru napolitane

Proprietăți tehnice
Index	Unitate	Valoare
Nume material		Reacție carbură de siliciu sinterizată	Carbură de siliciu sinterizată fără presiune	Carbură de siliciu recristalizată
Compoziţie		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densitate în vrac	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Rezistență la încovoiere	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Rezistenta la compresiune	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Duritate	Knoop	2700	2800	/
Ruperea tenacității	MPa m1/2	4.5	4	/
Conductivitate termică	W/m.k	95	120	23
Coeficientul de dilatare termică	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Căldura specifică	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura maxima in aer	℃	1200	1500	1600
Modul elastic	Gpa	360	410	240

Diferența dintre SSiC și RBSiC:

1. Procesul de sinterizare este diferit. RBSiC este să infiltreze Si liber în carbură de siliciu la o temperatură scăzută, SSiC este format prin contracție naturală la 2100 de grade.

2. SSiC au o suprafață mai netedă, o densitate mai mare și o rezistență mai mare, pentru unele etanșări cu cerințe de suprafață mai stricte, SSiC va fi mai bun.

3. Timp de utilizare diferit sub diferite PH și temperatură, SSiC este mai lung decât RBSiC

Caracteristicile tăvii de transport pentru napolitane

- Acoperiri cu carbură de siliciu CVD pentru a îmbunătăți durata de viață.
- Izolatie termica din carbon rigid purificat de inalta performanta.
- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.
- Acoperire cu grafit de înaltă puritate și SiC pentru rezistență la găuri și o durată de viață mai mare

Forme disponibile de ceramică cu carbură de siliciu

â Tijă ceramică / știft ceramic / piston ceramic

â Tub ceramic / bucșă ceramică / manșon ceramic

â Inel ceramic / şaibă ceramică / distanţier ceramic

â Disc ceramic

â Placă ceramică / bloc ceramic

â Minge din ceramică

â Piston ceramic

â Duză ceramică

â Crezet ceramic

â Alte piese ceramice personalizate