Barci de placă

Barcile cu placi semicorexe fabricate din carbură de siliciu de înaltă puritate (SIC) sunt componente esențiale în fabricarea semiconductorilor. Procesele semiconductoare în care sunt utilizate de obicei includ medii la temperatură ridicată și corozivă, cum ar fi procesele de difuzie, oxidare și LPCVD. Aplicarea bărcilor SIC Wafer a fost proiectată pentru a maximiza stabilitatea termică și rezistența chimică, permițând sprijin optim, aliniere și transport de napolitane de siliciu în timpul procesării pentru randamente optime și performanță a dispozitivului.

Carbura de siliciu este bine documentată ca o ceramică conductoare termică excelentă, care prezintă o rezistență mecanică ridicată și rezistență superioară de șoc termic, rezistență la oxidare și rezistență chimică agresivă cu substanțe chimice precum HF și HCl. Proprietățile SIC o fac deosebit de atractivă ca material pentru bărcile de placă pentru procesele de fabricare a semiconductorului de generație viitoare și în medii la temperaturi înalte. Barcile SIC Wafer pot menține integritatea structurală și stabilitatea dimensională la temperaturile procesului de> 1500 ° C, minimizând riscul de deformare sau contaminare a napolitanelor în tratamente termice critice.

Fiecare sicWafer Boateste fabricat din SiC de înaltă puritate folosind procese avansate de formare și sinterizare ceramică avansată și poate fi adaptat pentru o gamă extinsă de diametre de placă (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm), precum și de stivuire a configurațiilor, fie verticale sau orizontale. Barcile noastre de wafer SIC au suprafețe netede și o planeitate excelentă, care minimizează generarea de particule și sunt ideale pentru sistemele automate de manipulare a plafonilor.

Controlul și randamentul contaminării sunt două dintre cele mai critice probleme din fabricile moderne. Curățenia și dependența transportatorilor de wafer SIC influențează calitatea produsului și performanța procesului de consistență.  Barcile SIC Wafer au o longevitate mult mai bună pentru utilizare, au mai puține cerințe de întreținere și TCO mai mici decât alternativele pe bază de cuarț sau alumină. O mai bună longevitate înseamnă, de asemenea, mai puține probleme cu vărsarea micro-particulelor, prin urmare, din nou, afectând curățenia suprafeței de wafer și afectând curățenia curată a camerei.

Semicorex este axat pe proiectarea și fabricarea bărcilor SIC Wafer care folosesc cele mai mari materii prime posibile de puritate, combinate cu sinterizarea atmosferei de contaminare scăzută.  Facem toate eforturile pentru a menține niveluri scăzute de impuritate, pentru a menține porozitatea la o valoare scăzută și microstructura uniformă, astfel încât activitatea echipei să se poată bucura în mod regulat de caracteristici termice consistente, distanțarea precisă a napolitanei și rezistența de degradare chimică de neegalat.

Semicorex sicBarci de placăsunt un element necesar de prelucrare a temperaturilor ridicate a semiconductorilor. Barcile de placi cu siliciu de înaltă puritate au caracteristici de material inegalabile, excelență proiectată și temperament fără micro-contaminare, le fac alegerea la nivel ridicat pentru fabricarea de wafer de înaltă performanță. Semicorex oferă fiabilitatea și performanțele inovatoare înalte pentru a vă sprijini cele mai multe procese de semiconductor critic.