Barcă cu napolitană

Semicorex Wafer Boat este proiectat să suporte condițiile dure ale cuptorului de difuzie, cum ar fi temperaturile ridicate, mediile corozive și nevoia de plasare precisă a plachetelor în timpul procesului de difuzie.

Wafer Boat este realizată din ceramică din Carbură de Siliciu, aleasă pentru proprietățile sale excepționale. Carbura de siliciu este cunoscută pentru conductivitatea sa termică ridicată, asigurând o distribuție uniformă a temperaturii peste plachete în timpul difuziei. Această uniformitate este crucială pentru menținerea integrității plachetelor și asigurarea unor niveluri de dopaj consistente, care sunt esențiale pentru funcționalitatea dispozitivelor semiconductoare fabricate. În plus, punctul de topire ridicat al carburii de siliciu și stabilitatea termică permit Wafer Boat-ului să funcționeze la temperaturile ridicate necesare în procesele de difuzie, depășind adesea 1000°C, fără a se degrada sau distorsiona.

Unul dintre avantajele cheie ale ceramicii cu carbură de siliciu din Wafer Boat este rezistența sa chimică excelentă. Această rezistență este deosebit de importantă în menținerea purității plăcilor semiconductoare, întrucât orice contaminare ar putea duce la defecte ale produsului final, compromițând performanța circuitelor integrate.

Integritatea structurală a navei Wafer Boat este un alt factor critic în proiectarea sa. Designul trebuie să asigure că plachetele sunt bine ținute în poziție, cu o distanță precisă pentru a permite o expunere uniformă la gazele reactive. Această precizie este vitală pentru obținerea unui dopaj uniform pe toate plăcile, care are un impact direct asupra caracteristicilor electrice ale dispozitivelor semiconductoare.

Pe lângă proprietățile sale termice și chimice, ceramica cu carbură de siliciu oferă o stabilitate dimensională excelentă, crucială pentru cerințele de înaltă precizie ale producției de semiconductori. Această stabilitate asigură că plachetele rămân perfect aliniate, permițând difuzarea precisă și uniformă a dopanților pe întreaga suprafață a fiecărei plăci, conducând la producerea de dispozitive semiconductoare de înaltă calitate.

Semicorex Wafer Boat din ceramică cu carbură de siliciu este o componentă esențială în procesul de difuzie a semiconductorilor. Conductivitatea sa termică excepțională, rezistența chimică, rezistența mecanică și stabilitatea dimensională îl fac ideal pentru condițiile exigente ale producției de semiconductori. Utilizarea sa nu numai că îmbunătățește eficiența și fiabilitatea procesului de difuzie, dar contribuie și la rentabilitatea generală a producției de semiconductori.