Barcă de napolitană pentru proces de semiconductor

Semicorex oferă bărci de napolitane, piedestale și suporturi personalizate de napolitane atât pentru configurații verticale / pe coloană, cât și pe orizontale. Suntem producător și furnizor de folie de acoperire cu carbură de siliciu de mulți ani. Barca noastră Wafer pentru Procesul Semiconductor are un avantaj bun de preț și acoperă majoritatea piețelor europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Semicorex SiC Wafer Boat pentru proces de semiconductor, soluția supremă pentru manipularea și protecția plăcilor în fabricarea semiconductoarelor. Barca noastră de napolitană pentru procesul de semiconductor este fabricată din carbură de siliciu de înaltă calitate, care are o rezistență bună la coroziune și o rezistență excelentă la temperaturi ridicate și șocuri termice. Ceramica avansată oferă o rezistență termică excelentă și durabilitate a plasmei în timp ce atenuează particulele și contaminanții pentru purtătorii de napolitane de mare capacitate.

Parametrii navei Wafer pentru procesul semiconductor

Proprietăți tehnice
Index	Unitate	Valoare
Nume material		Reacție carbură de siliciu sinterizată	Carbură de siliciu sinterizată fără presiune	Carbură de siliciu recristalizată
Compoziţie		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densitate în vrac	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Rezistență la încovoiere	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Rezistenta la compresiune	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Duritate	Knoop	2700	2800	/
Ruperea tenacității	MPa m1/2	4.5	4	/
Conductivitate termică	W/m.k	95	120	23
Coeficientul de dilatare termică	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Căldura specifică	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura maxima in aer	℃	1200	1500	1600
Modul elastic	Gpa	360	410	240

Caracteristicile Wafer Boat pentru procesul de semiconductor

Rezistență superioară la căldură și uniformitate termică
Acoperit cu cristal fin de SiC pentru o suprafață netedă
Durabilitate ridicată împotriva curățării chimice
Materialul este proiectat astfel încât să nu apară fisuri și delaminare.