Barcă de napolitană verticală

Semicorex Vertical Wafer Boat este un suport special conceput pentru mai multe napolitane, care maximizează eficiența spațiului în camerele de procesare. Aceste barci cu napolitane verticale au de obicei o formă dreptunghiulară sau cilindrică, iar fiecare barcă are fante sau buzunare prelucrate cu precizie, care sunt distanțate pentru a ține în siguranță napolitanele individuale într-o poziție verticală. Barca de napolitană verticală este construită din carbură de siliciu (SiC), care oferă o rezistență excelentă la temperaturi ridicate, substanțe chimice corozive și stres mecanic, făcându-le ideale pentru a proteja napolitanele de eventuale daune.

În timpul fabricării semiconductoarelor, plachetele suferă numeroase procese complexe, inclusiv difuzie, RTP și câmpuri termice. Vertical Wafer Boat joacă un rol vital în facilitarea acestor procese, servind ca suport pentru napolitane, permițând transferul fără întreruperi între diferite echipamente și etape. Orientarea sa verticală minimizează amprenta la sol în camerele de procesare, optimizând debitul și permițând manipularea eficientă a loturii mari de napolitane.

Semicorex Vertical Wafer Boat este o piatră de temelie a procesării semiconductoarelor, oferind o soluție robustă și de încredere pentru manipularea și transportul în siguranță a napolitanelor în diferite etape de fabricație. Designul său avansat, împreună cu proprietățile excepționale ale SiC, subliniază rolul său esențial în producția de dispozitive semiconductoare de ultimă generație.