Susceptor cu grilă

Semicorex Susceptor with Grid este o componentă specializată utilizată în procesul de creștere epitaxială a plăcilor semiconductoare. Acest echipament esențial este proiectat să transporte și să susțină napolitanele în timpul depunerii materialelor într-un sistem de depunere în vapori metalo-organici (MOCVD). Susceptorul cu grilă joacă un rol esențial în asigurarea creșterii uniforme și controlate a straturilor epitaxiale de pe placă semiconductoare.

Susceptor cu grilă este construit cu materiale optimizate pentru funcționarea sa. În acest caz, este realizat din grafit acoperit cu MOCVD SiC (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide). Această alegere de materiale oferă mai multe avantaje, inclusiv rezistența la temperatură ridicată, stabilitatea chimică și o conductivitate termică excelentă. Acoperirea cu SiC de pe grafit sporește durabilitatea susceptorului și rezistența la condițiile dure întâlnite în timpul procesului de creștere epitaxială.

Susceptor cu structură Grid servește ca mecanism de sprijin pentru plăcile semiconductoare. Este proiectat strategic pentru a menține napolitanele în siguranță, permițând în același timp fluxul eficient de gaze și depunerea uniformă a materialelor. Modelul grilei ajută la distribuirea uniformă a căldurii și a reactanților pe suprafața plachetei, contribuind la controlul precis al grosimii stratului epitaxial și al compoziției.

Semicorex Susceptor with Grid este o componentă critică în procesul de fabricație a dispozitivelor semiconductoare avansate. Construcția sa robustă și designul specializat îl fac un instrument esențial pentru obținerea creșterii epitaxiale de înaltă calitate, asigurând producția de semiconductori cu performanță și fiabilitate superioare.