SiC Epi-Wafer Susceptor

Semicorex este un producător și furnizor pe scară largă de susceptor de grafit acoperit cu carbură de siliciu în China. Ne concentrăm pe industriile semiconductoarelor, cum ar fi straturile de carbură de siliciu și semiconductorii de epitaxie. Susceptorul nostru SiC Epi-Wafer are un avantaj de preț bun și acoperă multe dintre piețele europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul tău pe termen lung.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Semicorex furnizează SiC Epi-Wafer Susceptor acoperit de MOCVD utilizat pentru a susține napolitane. Construcția lor cu grafit acoperit cu carbură de siliciu (SiC) de înaltă puritate oferă o rezistență superioară la căldură, chiar uniformitate termică pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epi și rezistență chimică durabilă. Acoperirea cu cristale de SiC fin oferă o suprafață curată, netedă, critică pentru manipulare, deoarece napolitanele curate intră în contact cu susceptorul în multe puncte de pe întreaga lor zonă.
Susceptorul nostru SiC Epi-Wafer este proiectat pentru a obține cel mai bun model de flux laminar de gaz, asigurând uniformitatea profilului termic. Acest lucru ajută la prevenirea oricărei contaminări sau difuzarea impurităților, asigurând creșterea epitaxială de înaltă calitate pe cipul de napolitană.
Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre susceptorul nostru SiC Epi-Wafer.

Parametrii SiC Epi-Wafer Susceptor

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC
Proprietăți SiC-CVD
Structură cristalină	faza FCC ²
Densitate	g/cm³	3.21
Duritate	Duritatea Vickers	2500
Marimea unui bob	Î¼m	2~10
Puritatea chimică	%	99.99995
Capacitatea termică	J·kg-1·K-1	640
Temperatura de sublimare	℃	2700
Forța felexurală	MPa (RT 4 puncte)	415
Modulul Young	Gpa (îndoire 4 pt, 1300â)	430
Expansiune termică (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivitate termică	(W/mK)	300

Caracteristicile SiC Epi-Wafer Susceptor

Grafit acoperit cu SiC de înaltă puritate
Rezistență superioară la căldură și uniformitate termică
Acoperit cu cristal fin de SiC pentru o suprafață netedă
Durabilitate ridicată împotriva curățării chimice
Materialul este proiectat astfel încât să nu apară fisuri și delaminare.