Substrat GaN-on-SiC

Suporturile de napolitană de substrat GaN-on-SiC utilizate în fazele de depunere a filmului subțire sau în procesarea de manipulare a plachetelor trebuie să reziste la temperaturi ridicate și curățare chimică dure. Semicorex furnizează suport de substrat GaN-on-SiC acoperit cu SiC de înaltă puritate, care oferă rezistență la căldură superioară, uniformitate termică uniformă pentru grosime și rezistență consistentă a stratului epi și rezistență chimică durabilă. Acoperirea cu cristale de SiC fin oferă o suprafață curată, netedă, critică pentru manipulare, deoarece napolitanele curate intră în contact cu susceptorul în multe puncte de pe întreaga lor zonă.

La Semicorex, ne concentrăm pe furnizarea de produse de înaltă calitate, rentabile clienților noștri. Suceptorul nostru de substrat GaN-on-SiC are un avantaj de preț și este exportat pe multe piețe europene și americane. Ne propunem să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung, oferind produse de calitate consistentă și servicii excepționale pentru clienți.

Parametrii susceptorului substratului GaN-on-SiC

Caracteristici ale susceptorului de substrat GaN-on-SiC

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o densitate bună și pot juca un rol protector bun în medii de lucru cu temperaturi ridicate și corozive.

- Susceptorul acoperit cu carbură de siliciu utilizat pentru creșterea unui singur cristal are o planeitate foarte mare a suprafeței.

- Reduceți diferența de coeficient de dilatare termică dintre substratul de grafit și stratul de carbură de siliciu, îmbunătățiți în mod eficient rezistența de lipire pentru a preveni fisurarea și delaminarea.

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.

- Punct de topire ridicat, rezistență la oxidare la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune.