Susceptor de epitaxie din carbură de siliciu

Semicorex oferă servicii de proces de acoperire cu SiC prin metoda CVD pe suprafața grafitului, a ceramicii și a altor materiale, cum ar fi susceptitorul epitaxial cu carbură de siliciu, astfel încât gazele speciale care conțin carbon și siliciu reacţionează la temperatură ridicată pentru a obține molecule de SiC de puritate ridicată, molecule depuse pe suprafața materialelor acoperite, formând un strat protector SIC. SIC format este ferm lipit de baza de grafit, oferind proprietăți speciale bazei de grafit, făcând astfel suprafața grafitului compactă, fără porozitate, rezistență la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune și rezistență la oxidare.
Susceptorul nostru de epitaxie cu carbură de siliciu este proiectat pentru a obține cel mai bun model de flux laminar de gaz, asigurând uniformitatea profilului termic. Acest lucru ajută la prevenirea oricărei contaminări sau difuzarea impurităților, asigurând creșterea epitaxială de înaltă calitate pe cipul de napolitană.
Contactați-ne astăzi pentru a afla mai multe despre susceptitorul nostru de epitaxie cu carbură de siliciu.

Parametrii receptorului de epitaxie din carbură de siliciu

Caracteristici ale susceptorului de epitaxie cu carbură de siliciu

- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o densitate bună și pot juca un rol protector bun în medii de lucru cu temperaturi ridicate și corozive.
- Susceptorul acoperit cu carbură de siliciu utilizat pentru creșterea unui singur cristal are o planeitate foarte mare a suprafeței.
- Reduceți diferența de coeficient de dilatare termică dintre substratul de grafit și stratul de carbură de siliciu, îmbunătățiți în mod eficient rezistența de lipire pentru a preveni fisurarea și delaminarea.
- Atât substratul de grafit, cât și stratul de carbură de siliciu au o conductivitate termică ridicată și proprietăți excelente de distribuție a căldurii.
- Punct de topire ridicat, rezistență la oxidare la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune.