Suport pentru napolitană de siliciu

Semicorex oferă ceramică de calitate semiconductoare pentru uneltele dvs. OEM de semifabricare și componentele de manipulare a plachetelor, concentrându-se pe straturile de carbură de siliciu din industriile semiconductoarelor. Suntem producători și furnizori de suport pentru napolitane de silicon de mulți ani. Transportatorul nostru de napolitane de silicon are un avantaj de preț bun și acoperă majoritatea piețelor europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Procesele de depunere a semiconductorilor folosesc o combinație de gaze precursoare volatile, plasmă și temperatură ridicată pentru a stratifica pelicule subțiri de înaltă calitate pe plachete. Camerele de depunere și instrumentele de manipulare a plachetelor au nevoie de componente ceramice durabile pentru a face față acestor medii provocatoare.
Semicorex Silicon Wafer Carrier este carbură de siliciu de înaltă puritate, care are proprietăți ridicate de rezistență la coroziune și căldură, precum și o conductivitate termică excelentă.

Parametrii purtătorului de vase de silicon

Proprietăți tehnice
Index	Unitate	Valoare
Nume material		Reacție carbură de siliciu sinterizată	Carbură de siliciu sinterizată fără presiune	Carbură de siliciu recristalizată
Compoziţie		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densitate în vrac	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Rezistența la încovoiere	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Rezistența la compresiune	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Duritate	Buton	2700	2800	/
Ruperea tenacității	MPa m1/2	4.5	4	/
Conductivitate termică	W/m.k	95	120	23
Coeficientul de dilatare termică	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Căldura specifică	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura maxima in aer	℃	1200	1500	1600
Modulul elastic	Gpa	360	410	240

Diferența dintre SSiC și RBSiC:

1. Procesul de sinterizare este diferit. RBSiC este să infiltreze Si liber în carbură de siliciu la o temperatură scăzută, SSiC este format prin contracție naturală la 2100 de grade.

2. SSiC au o suprafață mai netedă, o densitate mai mare și o rezistență mai mare, pentru unele etanșări cu cerințe de suprafață mai stricte, SSiC va fi mai bun.

3. Timp de utilizare diferit sub diferite PH și temperatură, SSiC este mai lung decât RBSiC

Caracteristicile suportului de napolitană de silicon

Grafit acoperit cu SiC de înaltă puritate
Rezistență superioară la căldură și uniformitate termică
Acoperit cu cristal fin de SiC pentru o suprafață netedă
Durabilitate ridicată împotriva curățării chimice
Materialul este proiectat astfel încât să nu apară fisuri și delaminare.

Forme disponibile de ceramică cu carbură de siliciu:

● Tijă ceramică / știft ceramic / piston ceramic

● Tub ceramic / bucșă ceramică / manșon ceramic

● Inel ceramic / şaibă ceramică / distanţier ceramic

● Disc ceramic

● Placă ceramică / bloc ceramică

● Minge ceramică

● Piston ceramic

● Duza ceramica

● Crezet ceramic

● Alte piese ceramice personalizate