Acasă > Produse > Ceramica cu carbură de siliciu > Purtător de napolitane > Suport pentru napolitană de siliciu
Suport pentru napolitană de siliciu
  • Suport pentru napolitană de siliciuSuport pentru napolitană de siliciu
  • Suport pentru napolitană de siliciuSuport pentru napolitană de siliciu

Suport pentru napolitană de siliciu

Semicorex oferă ceramică de calitate semiconductoare pentru uneltele dvs. OEM de semifabricare și componentele de manipulare a plachetelor, concentrându-se pe straturile de carbură de siliciu din industriile semiconductoarelor. Suntem producători și furnizori de suport pentru napolitane de silicon de mulți ani. Transportatorul nostru de napolitane de silicon are un avantaj de preț bun și acoperă majoritatea piețelor europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Procesele de depunere a semiconductorilor folosesc o combinație de gaze precursoare volatile, plasmă și temperatură ridicată pentru a stratifica pelicule subțiri de înaltă calitate pe plachete. Camerele de depunere și instrumentele de manipulare a plachetelor au nevoie de componente ceramice durabile pentru a face față acestor medii provocatoare.
Semicorex Silicon Wafer Carrier este carbură de siliciu de înaltă puritate, care are proprietăți ridicate de rezistență la coroziune și căldură, precum și o conductivitate termică excelentă.


Parametrii purtătorului de vase de silicon

Proprietăți tehnice

Index

Unitate

Valoare

Nume material

Reacție carbură de siliciu sinterizată

Carbură de siliciu sinterizată fără presiune

Carbură de siliciu recristalizată

Compoziţie

RBSiC

SSiC

R-SiC

Densitate în vrac

g/cm3

3

3,15 ± 0,03

2,60-2,70

Rezistență la încovoiere

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)90-100(1400°C)

Rezistenta la compresiune

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

Duritate

Knoop

2700

2800

/

Ruperea tenacității

MPa m1/2

4.5

4

/

Conductivitate termică

W/m.k

95

120

23

Coeficientul de dilatare termică

10-6.1/°C

5

4

4.7

Căldura specifică

Joule/g 0k

0.8

0.67

/

Temperatura maxima in aer

1200

1500

1600

Modul elastic

Gpa

360

410

240


Diferența dintre SSiC și RBSiC:

1. Procesul de sinterizare este diferit. RBSiC este să infiltreze Si liber în carbură de siliciu la o temperatură scăzută, SSiC este format prin contracție naturală la 2100 de grade.

2. SSiC au o suprafață mai netedă, o densitate mai mare și o rezistență mai mare, pentru unele etanșări cu cerințe de suprafață mai stricte, SSiC va fi mai bun.

3. Timp de utilizare diferit sub diferite PH și temperatură, SSiC este mai lung decât RBSiC


Caracteristicile suportului de napolitană de silicon

Grafit acoperit cu SiC de înaltă puritate
Rezistență superioară la căldură și uniformitate termică
Acoperit cu cristal fin de SiC pentru o suprafață netedă
Durabilitate ridicată împotriva curățării chimice
Materialul este proiectat astfel încât să nu apară fisuri și delaminare.


Forme disponibile de ceramică cu carbură de siliciu

â Tijă ceramică / știft ceramic / piston ceramic

â Tub ceramic / bucșă ceramică / manșon ceramic

â Inel ceramic / şaibă ceramică / distanţier ceramic

â Disc ceramic

â Placă ceramică / bloc ceramic

â Minge din ceramică

â Piston ceramic

â Duză ceramică

â Crezet ceramic

â Alte piese ceramice personalizate




Hot Tags: Transportator de napolitane de siliciu, China, Producători, Furnizori, Fabrică, Personalizat, Vrac, Avansat, Durabil

Categorie aferentă

Trimite o anchetă

Vă rugăm să nu ezitați să trimiteți întrebarea dvs. în formularul de mai jos. Vă vom răspunde în 24 de ore.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept