Mandrină de vid din carbură de siliciu

Mandul de vid din carbură de siliciu semicorex este o parte importantă a fabricării semiconductorilor pentru procesele care au nevoie de o precizie ridicată și contaminare scăzută. Muchele de vid sunt fabricate din ceramică din carbură de siliciu poros de înaltă puritate și oferă o rezistență mecanică excelentă, conductivitate termică și inerție chimică și prezintă o structură de pori controlată cu exactitate pentru retenția de vid de încredere. Mandul de vid din carbură de siliciu este un dispozitiv de adsorbție funcțională realizat dintr -un material ceramic din carbură de siliciu (SIC), care se bazează pe presiunea negativă în vid, adsorbție electrostatică sau prindere mecanică pentru a oferi o apucare stabilă a piesei de prelucrat. Chuck -urile de vid au utilizarea în semiconductori, fotovoltaice, producție precisă și alte aplicații care au cerințe extraordinar de mari pentru rezistență la temperatură ridicată, rezistență la uzură și curățenie.

BazaChuckeste un material SIC poros, care are o permanence de aer previzibilă pe suprafața sa. Acest lucru înseamnă că este posibil să adsorbiți în siguranță o placă fără prindere mecanică și, prin urmare, să imaterializați potențialul de deteriorare fizică sau contaminarea eșantionului. Porozitatea materialului este strict controlată - de obicei având o porozitate de 35-40% - pentru a asigura o distribuție corespunzătoare a vidului, dar și îndeplinirea cerințelor structurale pentru ciclismul termic și mecanic durabil.

Wafer vid Chuckssunt de obicei confecționate dintr -o suprafață dură, cu multe găuri sau canale mici la suprafață. Prin aceste mici găuri, mand -ul poate fi conectat la o pompă de vid, ceea ce creează un efect de vid. Când placa este așezată pe mandrina, pompa de vid este pornită și aerul este tras prin găurile mici, creând un vid între placă și mandrină. Acest efect de vid creează suficientă aspirație pentru a atașa ferm placa la suprafața mandrinei.

Suprafețele ceramice sunt adesea utilizate în aplicații care necesită o puritate ridicată și stabilitate chimică. Ceramica sunt materiale produse prin fuziunea la temperatură ridicată a mineralelor. În general, ceramica sunt izolatori electrici sau semiconductori și au o rezistență ridicată la descompunerea termică, eroziunea și deteriorarea.

Semicorex construiește mandrina de vid din carbură de siliciu personalizată la specificațiile clientului pentru lucruri precum dimensiuni, porozitate, finisare de suprafață și modele pentru canalizarea în vid. Ca urmare a capacităților noastre de fabricație și a camerei curate, oferim cele mai bune în vărsări și curățenie cu particule mici pentru a satisface cerințele de curățenie ale tuturor producătorilor de fabulturi și echipamente semiconductoare.

Putem face un mandat pentru orice placă de dimensiuni, de la o placă de 2 inci până la 12 inci și adaptarea pentru a integra mand-ul într-o multitudine de echipamente de procesare a waferului. Poate fi utilizat pentru procesele front-end și/sau procesele back-end, ceea ce face ca SiC vidul să fie un mijloc economic, precis, stabil și fără contaminare, fără contaminare, de suport de wafer în fluxul de lucru FAB semiconductor.

Chuck -ul de vid din carbură de siliciu este un instrument esențial în fabricarea semiconductorilor de astăzi, combinând cele mai bune materiale și inginerie. Fiabilitatea durabilă și aderentă prin extremele termice și chimice îl fac suportul perfect în aplicațiile de proces care includ, epilare, subțiere, curățare și RTA. Prin procurarea mandatului de vid din carbură de siliciu prin semicorex, vă asigurați cea mai bună puritate a materialului, soluții personalizate și performanțe fiabile pentru rezultate superioare pe toate liniile de procesare a waferului.