Tub de proces cu carbură de siliciu

Tubul de proces cu carbură de siliciu Semicorex este o componentă crucială în domeniul producției de semiconductori, proiectat special pentru utilizare în cuptoare verticale utilizate în diferite aplicații de procesare a semiconductoarelor, cum ar fi RTP, difuzie. Acest tub specializat joacă un rol esențial în facilitarea tratamentului termic controlat și precis al plachetelor semiconductoare în timpul călătoriei lor prin procesele critice de fabricație.

Construit din carbură de siliciu de înaltă puritate, acest tub de proces cu carbură de siliciu prezintă o conductivitate termică excepțională, rezistență la temperaturi extreme și o rezistență mecanică remarcabilă. Proprietățile sale unice ale materialului îl fac o alegere ideală pentru aplicații care necesită temperaturi ridicate și medii chimice dure întâlnite frecvent în procesarea semiconductoarelor.

În cuptorul vertical, tubul de proces cu carbură de siliciu oferă o atmosferă protectoare și controlată pentru plachetele semiconductoare pe măsură ce sunt supuse unor procese precum RTP. RTP implică cicluri rapide de încălzire și răcire esențiale pentru activarea dopanților, recoacere și alte tratamente termice esențiale pentru fabricarea dispozitivelor semiconductoare. Natura robustă a tubului de proces cu carbură de siliciu asigură longevitatea și fiabilitatea în astfel de medii termice și chimice solicitante, contribuind la eficiența și precizia generală a procesului de fabricație a semiconductorilor.