Acoperirea SiC este un strat subțire pe susceptor prin procesul de depunere chimică în vapori (CVD). Materialul cu carbură de siliciu oferă o serie de avantaje față de siliciu, inclusiv de 10 ori puterea câmpului electric de defalcare, de 3 ori banda interzisă, care oferă materialului rezistență la temperatură ridicată și chimică, rezistență excelentă la uzură, precum și conductivitate termică.
Semicorex oferă servicii personalizate, vă ajută să inovezi cu componente care durează mai mult, reduc timpii de ciclu și îmbunătățesc randamentele.
Acoperirea SiC are mai multe avantaje unice
Rezistență la temperaturi ridicate: susceptorul acoperit cu CVD SiC poate rezista la temperaturi ridicate de până la 1600°C fără a suferi o degradare termică semnificativă.
Rezistență chimică: Acoperirea cu carbură de siliciu oferă o rezistență excelentă la o gamă largă de substanțe chimice, inclusiv acizi, alcalii și solvenți organici.
Rezistență la uzură: Acoperirea SiC oferă materialului o rezistență excelentă la uzură, făcându-l potrivit pentru aplicații care implică uzură mare.
Conductivitate termică: Acoperirea CVD SiC oferă materialului o conductivitate termică ridicată, făcându-l potrivit pentru utilizare în aplicații la temperatură înaltă care necesită un transfer eficient de căldură.
Rezistență și rigiditate ridicate: Susceptorul acoperit cu carbură de siliciu oferă materialului rezistență și rigiditate ridicate, făcându-l potrivit pentru aplicații care necesită rezistență mecanică ridicată.
Acoperirea SiC este utilizată în diverse aplicații
Producția de LED-uri: Susceptorul acoperit cu CVD SiC este utilizat în producția de diferite tipuri de LED-uri, inclusiv LED-uri albastre și verzi, LED-uri UV și LED-uri UV adânci, datorită conductivității sale termice ridicate și rezistenței chimice.
Comunicație mobilă: susceptorul acoperit cu CVD SiC este o parte crucială a HEMT pentru a finaliza procesul epitaxial GaN-on-SiC.
Procesarea semiconductoarelor: susceptorul acoperit cu CVD SiC este utilizat în industria semiconductoarelor pentru diverse aplicații, inclusiv procesarea plachetelor și creșterea epitaxială.
Componente din grafit acoperite cu SiC
Fabricat din grafit de acoperire cu carbură de siliciu (SiC), acoperirea este aplicată printr-o metodă CVD pe grade specifice de grafit de înaltă densitate, astfel încât să poată funcționa în cuptorul de înaltă temperatură cu peste 3000 °C într-o atmosferă inertă, 2200 °C în vid. .
Proprietățile speciale și masa redusă a materialului permit viteze rapide de încălzire, distribuție uniformă a temperaturii și o precizie remarcabilă în control.
Datele materiale ale Semicorex SiC Coating
Proprietăți tipice |
Unități |
Valori |
Structura |
|
faza FCC β |
Orientare |
Fracție (%) |
111 preferat |
Densitate în vrac |
g/cm³ |
3.21 |
Duritate |
Duritatea Vickers |
2500 |
Capacitate termică |
J kg-1 K-1 |
640 |
Expansiune termică 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulul tinerilor |
Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃) |
430 |
Dimensiunea boabelor |
μm |
2~10 |
Temperatura de sublimare |
℃ |
2700 |
Forța felexurală |
MPa (RT în 4 puncte) |
415 |
Conductivitate termică |
(W/mK) |
300 |
Concluzie Susceptorul acoperit cu CVD SiC este un material compozit care combină proprietățile unui susceptor și ale carburii de siliciu. Acest material posedă proprietăți unice, inclusiv rezistență la temperaturi ridicate și chimice, rezistență excelentă la uzură, conductivitate termică ridicată și rezistență și rigiditate ridicate. Aceste proprietăți îl fac un material atractiv pentru diverse aplicații la temperaturi ridicate, inclusiv procesarea semiconductoarelor, procesarea chimică, tratamentul termic, fabricarea celulelor solare și fabricarea LED-urilor.
Discul Susceptor Semicorex este un instrument indispensabil în depunerea de vapori chimici metalo-organici (MOCVD), conceput special pentru susținerea și încălzirea plachetelor semiconductoare în timpul procesului critic de depunere a stratului epitaxial. Susceptor Disc este esențial în fabricarea dispozitivelor semiconductoare, unde creșterea precisă a stratului este esențială. Angajamentul Semicorex față de calitatea de vârf pe piață, însoțit de considerente fiscale competitive, ne consolidează nerăbdarea de a stabili parteneriate pentru îndeplinirea cerințelor dumneavoastră de transport a plăcilor semiconductoare.
Citeşte mai multTrimite o anchetăPlata Epitaxială cu un singur cristal de Si încapsulează apogeul rafinamentului, durabilității și fiabilității pentru aplicațiile legate de epitaxia de grafit și manipularea plachetelor. Se distinge prin densitate, planaritate și capacitățile sale de management termic, poziționându-l drept selecția optimă pentru condiții operaționale riguroase. Angajamentul Semicorex față de calitatea de vârf pe piață, însoțit de considerente fiscale competitive, ne consolidează nerăbdarea de a stabili parteneriate pentru îndeplinirea cerințelor dumneavoastră de transport a plăcilor semiconductoare.
Citeşte mai multTrimite o anchetăEpi Susceptor de siliciu monocristal este o componentă esențială concepută pentru procesele de epitaxie Si-GaN, care poate fi adaptată la specificații și preferințe individualizate, oferind o soluție personalizată care se aliniază perfect cu cerințele specifice. Fie că implică modificări ale dimensiunilor sau ajustări ale grosimii stratului de acoperire, avem capacitatea de a proiecta și livra un produs care să se adapteze la diverși parametri de proces, optimizând astfel performanța pentru aplicațiile vizate. Angajamentul Semicorex față de calitatea de vârf pe piață, însoțit de considerente fiscale competitive, ne consolidează nerăbdarea de a stabili parteneriate pentru îndeplinirea cerințelor dumneavoastră de transport a plăcilor semiconductoare.
Citeşte mai multTrimite o anchetăFabricat cu precizie și proiectat pentru fiabilitate, SiC Epitaxy Susceptor are rezistență ridicată la coroziune, conductivitate termică ridicată, rezistență la șoc termic și stabilitate chimică ridicată, permițându-i să funcționeze eficient într-o atmosferă epitaxială. Prin urmare, SiC Epitaxy Susceptor este considerat un nucleu și componentă crucială în echipamentul MOCVD. Semicorex se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex Silicon Carbide Boat Holder este un produs specializat realizat din material SiC, proiectat meticulos pentru aplicații în industrii precum fotovoltaică, electronică și semiconductori. Semicorex se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetăSemicorex Solar Graphite Boat, un suport pentru napolitană proiectat cu precizie, conceput pentru a satisface cerințele exigente ale procesării semiconductoarelor la temperatură înaltă. Fabricată din grafit de calitate premium, această barcă inovatoare oferă stabilitate termică și durabilitate de neegalat, asigurând performanțe optime chiar și în cele mai solicitante medii de cuptor. Semicorex se angajează să ofere produse de calitate la prețuri competitive, așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.
Citeşte mai multTrimite o anchetă