Barci de napolitană ceramică cu carbură de siliciu

Selecție de materiale premium

Proprietățile excelente ale ceramicii cu carbură de siliciu Semicorexbărci cu napolitanăsunt atribuite materiilor prime de înaltă calitate. Fabricate din material SiSiC de calitate semiconductoare și acoperite cu o acoperire CVD SiC, barcile cu napolitană ceramică cu carbură de siliciu prezintă următoarele proprietăți excelente.

1. Puritate ultra-înaltă, fără eliberare de impurități metalice

Impuritatea substratului: <100 ppm

Impuritate de acoperire CVD SiC: <1 ppm

2. Stabilitate termică superioară

Bărcile cu napolitană ceramică cu carbură de siliciu sunt capabile să funcționeze constant în condiții de temperatură înaltă de 1250 ℃, oferind o deformare minimă și rezistență la fluaj.

3.Rezistență mecanică ridicată

Carbură de siliciuposedă o duritate ridicată și rezistență la uzură, permițând bărcilor cu napolitană ceramică cu carbură de siliciu Semicorex să reziste la zgârieturi, abraziuni și deteriorări, funcționând astfel bine în timpul funcționării pe termen lung și fiind rezistente la deteriorare.

4. Rezistență excepțională la coroziune

Deoarece carbura de siliciu este rezistentă la coroziune din cauza acizilor și alcalinelor puternice,  barcile ceramice cu carbură de siliciu Semicorex își pot menține integritatea structurală și performanța funcțională chiar și în condiții de lucru foarte corozive.

Design structural optimizat

Bărcile cu napolitane ceramice cu carbură de siliciu Semicorex sunt proiectate pentru procesarea batch wafer, cadrul lor structural optimizat asigură o susținere stabilă batch wafer și o stabilitate constantă a procesului pentru fiecare wafer.

Structură de susținere verticală cu 1,3 stâlpi

Structura verticală a barcilor de napolitană ceramică cu carbură de siliciu Semicorex le permite să se potrivească perfect cu aplicațiile de cuptoare verticale. Cu această structură, barcile cu napolitane ceramice cu carbură de siliciu emicorex pot facilita circulația omogenă a gazelor de proces și distribuția uniformă a energiei termice în cuptorul de înaltă temperatură.

2.Sloturi distribuite uniform

Bărcile de napolitană ceramică cu carbură de siliciu Semicorex sunt echipate cu mai multe ciupituri de fante prelucrate cu precizie pe stâlpii lor de sprijin. Ciupiturile lor uniform distanțate obțin o distanță adecvată a fantelor, ceea ce permite barcilor de placă ceramică cu carbură de siliciu să fixeze ferm plăcile semiconductoare, contribuind astfel la îmbunătățirea consistenței rezultatelor procesării termice a plachetelor.

Cu atât de multe performanțe și funcții excelente, bărcile cu napolitane ceramice cu carbură de siliciu Semicorex sunt utilizate pe scară largă în procesele de bază ale producției de plachete semiconductoare, cum ar fi oxidarea, difuzia, implantarea ionică și recoacere la temperatură înaltă.