Barcă de napolitană ceramică cu carbură de siliciu

Semicorex oferă bărci de napolitane, piedestale și suporturi personalizate de napolitane atât pentru configurații verticale / pe coloană, cât și pe orizontale. Suntem producător și furnizor de folie de acoperire cu carbură de siliciu de mulți ani. Barca noastră cu napolitană ceramică cu carbură de siliciu are un avantaj de preț bun și acoperă majoritatea piețelor europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Trimite o anchetă

Descriere produs

Barcă de napolitană ceramică cu carbură de siliciu Semicorex, soluția supremă pentru manipularea și protecția napolitanelor în fabricarea semiconductoarelor.
Barca noastră cu napolitană ceramică cu carbură de siliciu este fabricată dintr-un material de înaltă calitate acoperit cu un strat de carbură de siliciu (SiC) utilizată metoda CVD, care are o bună rezistență la coroziune și o rezistență excelentă la temperaturi ridicate și șocuri termice. Ceramica avansată oferă o rezistență termică excelentă și durabilitate a plasmei în timp ce atenuează particulele și contaminanții pentru purtătorii de napolitane de mare capacitate.

Parametrii bărcii napolitane ceramice cu carbură de siliciu

Proprietăți tehnice
Index	Unitate	Valoare
Nume material		Reacție carbură de siliciu sinterizată	Carbură de siliciu sinterizată fără presiune	Carbură de siliciu recristalizată
Compoziţie		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densitate în vrac	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Rezistență la încovoiere	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Rezistenta la compresiune	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Duritate	Knoop	2700	2800	/
Ruperea tenacității	MPa m1/2	4.5	4	/
Conductivitate termică	W/m.k	95	120	23
Coeficientul de dilatare termică	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Căldura specifică	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura maxima in aer	℃	1200	1500	1600
Modul elastic	Gpa	360	410	240

Diferența dintre SSiC și RBSiC:

1. Procesul de sinterizare este diferit. RBSiC este să infiltreze Si liber în carbură de siliciu la o temperatură scăzută, SSiC este format prin contracție naturală la 2100 de grade.

2. SSiC au o suprafață mai netedă, o densitate mai mare și o rezistență mai mare, pentru unele etanșări cu cerințe de suprafață mai stricte, SSiC va fi mai bun.

3. Timp de utilizare diferit sub diferite PH și temperatură, SSiC este mai lung decât RBSiC

Caracteristici ale bărcii napolitane ceramice cu carbură de siliciu

Rezistență superioară la căldură și uniformitate termică
Acoperit cu cristal fin de SiC pentru o suprafață netedă
Durabilitate ridicată împotriva curățării chimice
Materialul este proiectat astfel încât să nu apară fisuri și delaminare.