Paletele ceramice din carbură de siliciu Semicorex sunt componente ceramice cu structură în consolă, care sunt fabricate cu precizie din material din carbură de siliciu, urmate de sinterizare cu reacție. Servind drept soluții optime pentru susținerea și transportul plachetelor, paletele ceramice din carbură de siliciu Semicorex sunt aplicate pe scară largă în industriile fotovoltaice și semiconductoare.
Ceramica cu carbură de siliciupaletele sunt de obicei instalate în apropierea deschiderii cuptorului sau a camerei de proces, cu un capăt fix și celălalt capăt extinzându-se în cuptor sau în camera de proces. În timpul procesării operaționale, paletele ceramice cu carbură de siliciu poziționează cu precizie suportul de napolitană care transportă napolitane în locația desemnată din interiorul cuptorului sau al camerei de proces. După procesare, paletele în consolă preiau suportul și îl scot din cuptor sau din cameră și îl predă brațului robotizat pentru următoarea etapă de manipulare.
1. Proprietăți superioare și calitate fiabilă
Paletele ceramice cu carbură de siliciu Semicorex oferă stabilitate excelentă la temperatură ridicată, rezistență ridicată, duritate ridicată, stabilitate chimică și coeficient scăzut de dilatare termică. Cu aceste proprietăți superioare, paletele ceramice cu carbură de siliciu Semicorex pot rezista pe termen lung la condițiile de operare dificile, cum ar fi temperaturile ridicate, coroziunea severă, încărcările grele și funcționarea mecanică frecventă.
2. Susținere și transport precis
Bazându-se pe performanța excelentă de suport și transport, Semicorexpalete ceramice cu carbură de siliciupoate fixa cu precizie purtătorii de napolitane la locul lor pentru a asigura concentricitatea plachetelor în raport cu tuburile cuptorului, ceea ce reduce semnificativ inconsecvența procesului cauzată de agitarea și alinierea greșită a plachetelor în timpul procesului.
3. Funcționare automată foarte eficientă
Paletele ceramice cu carbură de siliciu Semicorex funcționează de obicei împreună cu sistemele robotizate automate de încărcare și manipulare pentru a obține o încărcare și descărcare rapidă a plachetelor. Acest lucru scurtează semnificativ ciclurile de proces în producția de semiconductori și fotovoltaice, îmbunătățește eficiența producției și reduce costurile de operare manuală și riscurile de eroare.
1. Fabricarea celulelor fotovoltaice
Paletele ceramice cu carbură de siliciu Semicorex sunt potrivite pentru procesele termice ale celulelor fotovoltaice, cum ar fi difuzia, LPCVD și PECVD a celulelor TOPCon și PERC. Prin realizarea uniformității și stabilității procesului, aceste palete contribuie la îmbunătățirea eficienței conversiei celulelor fotovoltaice.
2. Fabricarea cipurilor semiconductoare
Reprezentând componente esențiale de susținere și transport, paletele ceramice cu carbură de siliciu Semicorex sunt aplicate pe scară largă în procese precum litografia, gravarea și depunerea în timpul producției de cipuri semiconductoare, permițând transferul constant și poziționarea precisă a plachetelor.