Palete cantilever ceramice din carbură de siliciu

Semicorexpalete cantilever ceramice din carbură de siliciusunt produse prin sinterizarea la temperatură ridicată a corpului verde imprimat 3D într-o singură etapă, urmată de tratamentul de acoperire prin depunere chimică de vapori. În timpul funcționării efective, paletele din consolă din ceramică cu carbură de siliciu sunt acționate de sistemele mecanice de automatizare pentru a transfera fără probleme și constant componentele care transportă napolitane în și din echipamentele de procesare la temperatură înaltă (cum ar fi cuptoare de oxidare, cuptoare de difuzie, cuptoare CVD etc.). Aceste componente din carbură de siliciu pot asigura în mod eficient precizia concentricității dintre plachete și tuburile cuptorului, garantând astfel uniformitatea și stabilitatea procesului în timpul proceselor critice, cum ar fi difuzia, oxidarea și depunerea chimică a vaporilor.

Performanța paletelor cu consolă ceramică din carbură de siliciu Semicorex

1. Performanță scăzută la poluare:

Semicorexcarbură de siliciuPaletele ceramice cantilever, prelucrate cu tratament de înaltă precizie, ating standardele fără praf și fără particule. Matricele lor au un conținut de impurități controlat strict sub 300 PPM, iar conținutul de impurități al acoperirii cu carbură de siliciu CVD este chiar mai mic de 5 PPM.

2. Stabilitate la temperaturi ridicate:

Datorită rezistenței excelente la temperaturi înalte și rezistenței la șocuri termice a carburii de siliciu, paletele ceramice cu carbură de siliciu Semicorex își pot menține stabilitatea structurală prelungită la temperaturi ridicate de până la 1250°C, fără să se deformeze, să se înmoaie sau să fie deteriorate din cauza temperaturii ridicate.

3. Capacitate de încărcare excepțională:

Paletele ceramice cu carbură de siliciu Semicorex oferă o capacitate de încărcare excepțională, beneficiind de designul lor structural unic și de proprietățile superioare ale materialului (rezistență mecanică și duritate ridicate). Această capacitate excepțională de încărcare le permite să reziste la greutatea unor loturi mari de napolitane pentru a satisface nevoile producției de masă, ceea ce îmbunătățește eficient eficiența procesării loturilor de napolitane.

4. Rezistență remarcabilă la coroziune:

Paletele ceramice cu carbură de siliciu Semicorex prezintă o rezistență excelentă la coroziune la oxigen, clor și alte substanțe corozive prezente la temperaturi ridicate în procesele de fabricație a semiconductoarelor și fotovoltaice. Această performanță superioară este crucială pentru asigurarea funcționării fără probleme a proceselor de producție prin evitarea pierderilor și a timpului cauzate de deteriorarea paletelor din consolă din ceramică cu carbură de siliciu.

Metoda de ambalare a paletelor cu consolă ceramică din carbură de siliciu Semicorex